成膜加工 - 企業ランキング(全8社)
更新日: 集計期間:2025年07月16日〜2025年08月12日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
![]() CZウエハ 成膜加工
応相談 |
【特徴】 ○膜種により2インチから450mmウェーハへの成膜が可能 ○テストパターン付ウエハ(6インチから12インチ)に対応 ○レチクルご支給による、露光/エッチングも対応(8インチと12インチ) ○レジスト塗布/露光/エッチングは4インチ~12インチまで対応可能 ○バックグラインダー:直径5インチ~12インチ ○ダイシング:直径5インチ~12インチ 【12インチ 対応可能膜種】 ○酸化膜系:熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BPSG ○窒化膜系:DCS-SiN、P-SiN、LP-SiN ○金属膜系:TaN、Ta、Cu、Al、Al-Si、Al-SiーCu、Ni、W、W-Si-Cu ○その他:Poly-Si、A-Si、SiC、Low-k(SiOC系、有機化学系) | ||
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- 代表製品
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CZウエハ 成膜加工
- 概要
- 【特徴】 ○膜種により2インチから450mmウェーハへの成膜が可能 ○テストパターン付ウエハ(6インチから12インチ)に対応 ○レチクルご支給による、露光/エッチングも対応(8インチと12インチ) ○レジスト塗布/露光/エッチングは4インチ~12インチまで対応可能 ○バックグラインダー:直径5インチ~12インチ ○ダイシング:直径5インチ~12インチ 【12インチ 対応可能膜種】 ○酸化膜系:熱酸化、RTO、LP-TEOS、HDP-USG、P-TEOS、PSG、BPSG ○窒化膜系:DCS-SiN、P-SiN、LP-SiN ○金属膜系:TaN、Ta、Cu、Al、Al-Si、Al-SiーCu、Ni、W、W-Si-Cu ○その他:Poly-Si、A-Si、SiC、Low-k(SiOC系、有機化学系)
- 用途/実績例
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