ALD装置 - 企業ランキング(全7社)
更新日: 集計期間:2026年03月04日〜2026年03月31日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【その他の特長】 ■豊富なオプション ・オゾンジェネレータ ・ドームリッド ・LVPD ・QCM ・SAMS ・粉体成膜 ・グローブボックスI/F ・プラズマキット | |||
| 【その他の特長】 ■豊富なオプション ・オゾンジェネレータ ・ドームリッド ・LVPD ・QCM ・SAMS ・粉体成膜 ・グローブボックスI/F ・プラズマキット | |||
| 【その他の特長】 ■簡易除害ユニット:ALD Shield Vapor Trap 標準搭載 ■リモートプラズマに適した専用リアクター | |||
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- 代表製品
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サーマルALD装置『Savannah G2』
- 概要
- 【その他の特長】 ■豊富なオプション ・オゾンジェネレータ ・ドームリッド ・LVPD ・QCM ・SAMS ・粉体成膜 ・グローブボックスI/F ・プラズマキット
- 用途/実績例
サーマルALD装置『Savannah G2』
- 概要
- 【その他の特長】 ■豊富なオプション ・オゾンジェネレータ ・ドームリッド ・LVPD ・QCM ・SAMS ・粉体成膜 ・グローブボックスI/F ・プラズマキット
- 用途/実績例
プラズマ/サーマルALD装置『Fiji G2』
- 概要
- 【その他の特長】 ■簡易除害ユニット:ALD Shield Vapor Trap 標準搭載 ■リモートプラズマに適した専用リアクター
- 用途/実績例
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