ALD装置 - 企業ランキング(全8社)
更新日: 集計期間:2025年10月08日〜2025年11月04日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【その他の特長】 ■豊富なオプション ・オゾンジェネレータ ・ドームリッド ・LVPD ・QCM ・SAMS ・粉体成膜 ・グローブボックスI/F ・プラズマキット | |||
| 【その他の特長】 ■簡易除害ユニット:ALD Shield Vapor Trap 標準搭載 ■リモートプラズマに適した専用リアクター | |||
大型基板用ALD装置
応相談 |
ALD原子層堆積装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の製品と技術導入をハイテックシステムズがサポートします! ●4.5世代(Tahiti I)、5.5世代(Tahiti II)角基板を成膜 ●大面積の基板において高精度の均一な膜を成膜 本ALD装... | ALD装置は、欠陥が無く優れた保護特性を備えた薄膜を形成する技術として半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、MEMS、照明、医療など幅広い分野に貢献します。 | |
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- 代表製品
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サーマルALD装置『Savannah G2』
- 概要
- 【その他の特長】 ■豊富なオプション ・オゾンジェネレータ ・ドームリッド ・LVPD ・QCM ・SAMS ・粉体成膜 ・グローブボックスI/F ・プラズマキット
- 用途/実績例
プラズマ/サーマルALD装置『Fiji G2』
- 概要
- 【その他の特長】 ■簡易除害ユニット:ALD Shield Vapor Trap 標準搭載 ■リモートプラズマに適した専用リアクター
- 用途/実績例
大型基板用ALD装置
- 概要
- ALD原子層堆積装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の製品と技術導入をハイテックシステムズがサポートします! ●4.5世代(Tahiti I)、5.5世代(Tahiti II)角基板を成膜 ●大面積の基板において高精度の均一な膜を成膜 本ALD装...
- 用途/実績例
- ALD装置は、欠陥が無く優れた保護特性を備えた薄膜を形成する技術として半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、MEMS、照明、医療など幅広い分野に貢献します。
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