ALD装置 - 企業ランキング(全7社)
更新日: 集計期間:2025年07月02日〜2025年07月29日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【その他の特長】 ■簡易除害ユニット:ALD Shield Vapor Trap 標準搭載 ■リモートプラズマに適した専用リアクター | |||
【その他の特長】 ■豊富なオプション ・オゾンジェネレータ ・ドームリッド ・LVPD ・QCM ・SAMS ・粉体成膜 ・グローブボックスI/F ・プラズマキット | |||
![]() 量産用バッチ式ALD装置
応相談 |
ALD原子層堆積装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の製品と技術導入をハイテックシステムズがサポートします! ●バッチ装置 複数のカセットを同時成膜、大きな3D基板成膜が可能です (100mm~200mmウエハ 100枚/バッチ、300mmウエハ 12枚、2.5世代角基板 5枚) ●高精度の均一な膜を短いサイクルタイムで処理 本ALD装置の詳細については、お気軽にご相談下さい。 | ALD装置は、欠陥が無く優れた保護特性を備えた薄膜を形成する技術として半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、MEMS、照明、医療など幅広い分野に貢献します。 | |
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- 代表製品
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プラズマ/サーマルALD装置『Fiji G2』
- 概要
- 【その他の特長】 ■簡易除害ユニット:ALD Shield Vapor Trap 標準搭載 ■リモートプラズマに適した専用リアクター
- 用途/実績例
サーマルALD装置『Savannah G2』
- 概要
- 【その他の特長】 ■豊富なオプション ・オゾンジェネレータ ・ドームリッド ・LVPD ・QCM ・SAMS ・粉体成膜 ・グローブボックスI/F ・プラズマキット
- 用途/実績例
量産用バッチ式ALD装置
- 概要
- ALD原子層堆積装置の世界的リーディングカンパニー、Veeco/CNT社の製品と技術導入をハイテックシステムズがサポートします! ●バッチ装置 複数のカセットを同時成膜、大きな3D基板成膜が可能です (100mm~200mmウエハ 100枚/バッチ、300mmウエハ 12枚、2.5世代角基板 5枚) ●高精度の均一な膜を短いサイクルタイムで処理 本ALD装置の詳細については、お気軽にご相談下さい。
- 用途/実績例
- ALD装置は、欠陥が無く優れた保護特性を備えた薄膜を形成する技術として半導体、フラットパネルディスプレイ(FPD)、MEMS、照明、医療など幅広い分野に貢献します。
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