CVD装置 - 企業ランキング(全23社)

更新日：2026年07月08日集計期間:2026年06月10日〜2026年07月07日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
サムコ株式会社	所在地京都府従業員数 170 事業内容半導体等電子部品の製造・販売を行っています。最先端の薄膜形成用プラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を製造・販売しており、世界中の生産現場や研究者の皆様へ提供しています。主要取引先大手電子部品メーカー大学・官庁・研究機関	プラズマCVD装置『PD-270STLC／PD-2201LC』応相談	【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送	【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成
		プラズマCVD装置『PD-270STLC／PD-2201LC』応相談	【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送	【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成
		プラズマCVD装置応相談	PD-220NLは、納入実績の豊富なプラズマCVD装置『PD-220シリーズ』での経験をもとに開発したロードロック式装置です。本装置は、コンパクトな設計でありながら基板有効径がφ220mmあります。各種シリコン系薄膜（Si3N4、SiO2等）の形成を目的としており、最先端の研究か...	●シリコン窒化膜の形成 ●シリコン酸化膜の形成 ●アモルファスシリコン膜の形成 ●その他薄膜形成
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サムコ株式会社

所在地

京都府

従業員数

170

事業内容

半導体等電子部品の製造・販売を行っています。最先端の薄膜形成用プラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を製造・販売しており、世界中の生産現場や研究者の皆様へ提供しています。

主要取引先

大手電子部品メーカー大学・官庁・研究機関

代表製品

プラズマCVD装置『PD-270STLC／PD-2201LC』

概要

【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送

用途/実績例

【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成

プラズマCVD装置『PD-270STLC／PD-2201LC』

概要

【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送

用途/実績例

【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成

プラズマCVD装置

概要

PD-220NLは、納入実績の豊富なプラズマCVD装置『PD-220シリーズ』での経験をもとに開発したロードロック式装置です。本装置は、コンパクトな設計でありながら基板有効径がφ220mmあります。各種シリコン系薄膜（Si3N4、SiO2等）の形成を目的としており、最先端の研究か...

用途/実績例

●シリコン窒化膜の形成 ●シリコン酸化膜の形成 ●アモルファスシリコン膜の形成 ●その他薄膜形成
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所在地

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事業内容

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