CVD装置 - 企業ランキング(全22社)

更新日：2025年12月24日集計期間:2025年11月26日〜2025年12月23日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社	所在地神奈川県事業内容 ■プラズマ技術を応用したエッチング、成膜、切断装置に加え、　ICP, RIE, DSE, IBE, IBD, PECVD, HDPCVD, HDRF F.A.S.T.-ALD装置の販売 ■当該装置に関するカスタマーサービスの提供主要取引先	プラズマCVD装置『210Dモデル』応相談	【仕様】 ■ICP-CVD成膜装置　及び　ICP-RIEドライエッチャー ■-20℃～150℃(オプションにより変更可能) ■クーポンタイプから最大φ200mmフルウェーハまで対応 ■2”ウェハ7枚、3”ウェハ3枚等のバッチ処理も可能 ■ガス配管：標準8ライン(オプションにより最...	【用途】 ■ドライエッチング、及び成膜を必要するさまざまな製品の開発
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社		プラズマCVD装置『SHUTTLELINE(R)シリーズ』応相談	【スペック】 ■サイズ：(本体・標準)W~800mmxD1700mmxH1500mm 　※サイズは構成に応じて異なる ■ガス配管：最大12ライン(プロセスガス11ライン+パージ用N2) ■対応ウエーハサイズ：最大φ200mmフルウエハ、クーポンタイプ、パッケージ化ダイ等 ...	【用途】 ■半導体製造プロセスでの成膜、エッチング、クリーニング、パターニングに ■半導体デバイスの評価プロセス・故障解析でのポリマー層・層間絶縁膜等の除去に
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プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

所在地

神奈川県

事業内容

■プラズマ技術を応用したエッチング、成膜、切断装置に加え、　ICP, RIE, DSE, IBE, IBD, PECVD, HDPCVD, HDRF F.A.S.T.-ALD装置の販売 ■当該装置に関するカスタマーサービスの提供

主要取引先

代表製品

プラズマCVD装置『210Dモデル』

概要

【仕様】 ■ICP-CVD成膜装置　及び　ICP-RIEドライエッチャー ■-20℃～150℃(オプションにより変更可能) ■クーポンタイプから最大φ200mmフルウェーハまで対応 ■2”ウェハ7枚、3”ウェハ3枚等のバッチ処理も可能 ■ガス配管：標準8ライン(オプションにより最...

用途/実績例

【用途】 ■ドライエッチング、及び成膜を必要するさまざまな製品の開発

プラズマCVD装置『SHUTTLELINE(R)シリーズ』

概要

【スペック】 ■サイズ：(本体・標準)W~800mmxD1700mmxH1500mm 　※サイズは構成に応じて異なる ■ガス配管：最大12ライン(プロセスガス11ライン+パージ用N2) ■対応ウエーハサイズ：最大φ200mmフルウエハ、クーポンタイプ、パッケージ化ダイ等 ...

用途/実績例

【用途】 ■半導体製造プロセスでの成膜、エッチング、クリーニング、パターニングに ■半導体デバイスの評価プロセス・故障解析でのポリマー層・層間絶縁膜等の除去に
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所在地

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事業内容

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