CVD装置 - Company Ranking(23 companies in total)

Last Updated：2026年06月24日 Aggregation Period:2026年05月27日〜2026年06月23日
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Company Name	Company information	Featured Products
Company Name	Company information	Product Image, Product Name, Price Range	overview	Application/Performance example
サムコ株式会社	Address 京都府 number of employees 170 Business Activities 半導体等電子部品の製造・販売を行っています。最先端の薄膜形成用プラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を製造・販売しており、世界中の生産現場や研究者の皆様へ提供しています。 Key Partners 大手電子部品メーカー大学・官庁・研究機関	プラズマCVD装置『PD-270STLC／PD-2201LC』応相談	【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送	【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成
		プラズマCVD装置『PD-270STLC／PD-2201LC』応相談	【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送	【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成
		SiO2厚膜形成用プラズマCVD装置応相談	PD-270STPは、液体ソースのTEOSによるシリコン酸化膜（SiO2）形成用の低温、高速プラズマCVD装置です。カソード側の高いシース電界で得られるイオンエネルギーにより、薄膜から厚膜までのシリコン酸化膜を低ストレスで形成することが可能です。	● 光導波路など光学部品の製造 ● マイクロマシーンのマスク形成 ● プラスチック材料の保護膜の形成 ● 高アスペクト比段差への被膜
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サムコ株式会社

Address

京都府

number of employees

170

Business Activities

半導体等電子部品の製造・販売を行っています。最先端の薄膜形成用プラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を製造・販売しており、世界中の生産現場や研究者の皆様へ提供しています。

Key Partners

大手電子部品メーカー大学・官庁・研究機関

Featured Products

プラズマCVD装置『PD-270STLC／PD-2201LC』

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【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送

Application/Performance example

【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成

プラズマCVD装置『PD-270STLC／PD-2201LC』

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【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送

Application/Performance example

【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成

SiO2厚膜形成用プラズマCVD装置

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PD-270STPは、液体ソースのTEOSによるシリコン酸化膜（SiO2）形成用の低温、高速プラズマCVD装置です。カソード側の高いシース電界で得られるイオンエネルギーにより、薄膜から厚膜までのシリコン酸化膜を低ストレスで形成することが可能です。

Application/Performance example

● 光導波路など光学部品の製造 ● マイクロマシーンのマスク形成 ● プラスチック材料の保護膜の形成 ● 高アスペクト比段差への被膜
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Business Activities

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