アライナのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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アライナ - 企業ランキング(全14社)

更新日： 集計期間:2025年05月07日〜2025年06月03日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社 ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
マスクレスアライナー『MLA150』
マスクレスアライナー『MLA150』

5000万円 ~ 1億円

 最小基板サイズ：5 mm x 5 mm 最大露光面積：6インチx 6インチ（オプションで8インチx 8インチ） 0.6μmまでの最小構造サイズ リアルタイムオートフォーカス（標準：空圧式、オプション：光学式） 前面と背面の位置合わせ（オプション：バックサイドアライメント機構） 高アスペクト比モード（超厚レジスト露光） 使いやすい操作ソフトウェア キーワード：レーザー露光装置、レーザー描画装置、直描装置、直接描画装置、マスクレス、微細加工 マイクロ光学、マイクロ流体、生物医学分野, MEMS, 半導体、FPD, センサー, MOEMS, 導波路, 材料評価・開発, ナノチューブ、グラフェン、マスク製造。
マスクレスアライナー『uMLA』（マイクロ・エム・エル・エー）
マスクレスアライナー『uMLA』（マイクロ・エム・エル・エー）

5000万円 ~ 1億円

 描画領域：5 mm〜100mm角（オプション　125mm角へ拡張可能） 最小図形寸法：最小0.6 µm（最小寸法1um, 3umレンズセット有り） リアルタイムオートフォーカスシステム（標準：空圧式、オプション：光学式） 使いやすい操作ソフトウェア オプション多数有り：フィールドアライメント、ベクターモード、ドローモード、高速化、専用テーブル。 キーワード：レーザー露光装置、直描装置、直接描画装置、マスクレス 回路、マイクロフルイディクス、マイクロオプティクス、センサー、MEMS、および材料科学などのマイクロストラクチャ
マスクレスアライナー『MLA300』
マスクレスアライナー『MLA300』

5000万円 ~ 1億円

 最大露光面積：300 mm x 300 mm 最小フィーチャサイズ：1.5μm 最小ラインアンドスペース：2 µm 最大書き込み速度：5000 mm2 / min（@405 nm、1モジュール時） リアルタイムオートフォーカス 前面と背面の位置合わせ フルオートローダー 複数モジュール搭載可 センサー、センサーIC、MEMSデバイス、ディスクリート電子コンポーネント、アナログおよびデジタルIC、ASIC、パワーエレクトロニクス、OLEDディスプレイ、および高度なパッケージングアプリケーション向け
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  1. ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社 ハイデルベルグ・インストルメンツ株式会社
    代表製品
    マスクレスアライナー『MLA150』マスクレスアライナー『MLA150』
    概要
    最小基板サイズ：5 mm x 5 mm 最大露光面積：6インチx 6インチ（オプションで8インチx 8インチ） 0.6μmまでの最小構造サイズ リアルタイムオートフォーカス（標準：空圧式、オプション：光学式） 前面と背面の位置合わせ（オプション：バックサイドアライメント機構） 高アスペクト比モード（超厚レジスト露光） 使いやすい操作ソフトウェア キーワード：レーザー露光装置、レーザー描画装置、直描装置、直接描画装置、マスクレス、微細加工
    用途/実績例
    マイクロ光学、マイクロ流体、生物医学分野, MEMS, 半導体、FPD, センサー, MOEMS, 導波路, 材料評価・開発, ナノチューブ、グラフェン、マスク製造。
    マスクレスアライナー『uMLA』（マイクロ・エム・エル・エー）マスクレスアライナー『uMLA』（マイクロ・エム・エル・エー）
    概要
    描画領域：5 mm〜100mm角（オプション　125mm角へ拡張可能） 最小図形寸法：最小0.6 µm（最小寸法1um, 3umレンズセット有り） リアルタイムオートフォーカスシステム（標準：空圧式、オプション：光学式） 使いやすい操作ソフトウェア オプション多数有り：フィールドアライメント、ベクターモード、ドローモード、高速化、専用テーブル。 キーワード：レーザー露光装置、直描装置、直接描画装置、マスクレス
    用途/実績例
    回路、マイクロフルイディクス、マイクロオプティクス、センサー、MEMS、および材料科学などのマイクロストラクチャ
    マスクレスアライナー『MLA300』マスクレスアライナー『MLA300』
    概要
    最大露光面積：300 mm x 300 mm 最小フィーチャサイズ：1.5μm 最小ラインアンドスペース：2 µm 最大書き込み速度：5000 mm2 / min（@405 nm、1モジュール時） リアルタイムオートフォーカス 前面と背面の位置合わせ フルオートローダー 複数モジュール搭載可
    用途/実績例
    センサー、センサーIC、MEMSデバイス、ディスクリート電子コンポーネント、アナログおよびデジタルIC、ASIC、パワーエレクトロニクス、OLEDディスプレイ、および高度なパッケージングアプリケーション向け
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