エッチング装置 - 企業ランキング(全29社)

更新日：2025年07月23日集計期間:2025年06月25日〜2025年07月22日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社	所在地神奈川県事業内容 ■プラズマ技術を応用したエッチング、成膜、切断装置に加え、　ICP, RIE, DSE, IBE, IBD, PECVD, HDPCVD, HDRF F.A.S.T.-ALD装置の販売 ■当該装置に関するカスタマーサービスの提供主要取引先	【研究・開発用途向け】フォトマスクドライエッチング装置応相談	【その他の特長】 ■Φ360mmに収まるサイズであればフォトマスク、ウエハ、クーポンの処理可 ■グラフィカルユーザーインターフェースを採用 ■製造工程の履歴管理・レシピの変更が簡単な為、生産性を向上可	【用途】 ■フォトマスクの新規開発 ■フォトマスク材料の新規開発
		バッチ式化合物半導体量産機プラズマCVD・プラズマエッチング装置応相談	【その他の特長】 ■2インチウェーハなら最大27枚の同時処理が可能で、Optics等の小口径バッチ処理に好適 ■RIE, ICP, ICP-RIEと用途に応じたエッチングプロセス、PECVD, ICP-CVDでの成膜プロセスの　構成を用途に応じて選択可能 ■世界中での採用実績があり、Plasma-Therm LLCのグローバルネットワークで現地サポート	【用途】 ■半導体製造プロセスでの成膜、エッチング、クリーニング、パターニング ■Micro LED等のフォトニクス応用に向けたサファイア基板、化合物半導体プロセス ■微細構造の細かな面にも対応する表面クリーニング ■故障解析等のデバイス評価プロセス
		プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』応相談	※英語版カタログをダウンロードいただけます。	【用途】 ■表面の単原子層のエッチング ※英語版カタログをダウンロードいただけます。
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プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

所在地

神奈川県

事業内容

■プラズマ技術を応用したエッチング、成膜、切断装置に加え、　ICP, RIE, DSE, IBE, IBD, PECVD, HDPCVD, HDRF F.A.S.T.-ALD装置の販売 ■当該装置に関するカスタマーサービスの提供

主要取引先

代表製品

【研究・開発用途向け】フォトマスクドライエッチング装置

概要

【その他の特長】 ■Φ360mmに収まるサイズであればフォトマスク、ウエハ、クーポンの処理可 ■グラフィカルユーザーインターフェースを採用 ■製造工程の履歴管理・レシピの変更が簡単な為、生産性を向上可

用途/実績例

【用途】 ■フォトマスクの新規開発 ■フォトマスク材料の新規開発

バッチ式化合物半導体量産機プラズマCVD・プラズマエッチング装置

概要

【その他の特長】 ■2インチウェーハなら最大27枚の同時処理が可能で、Optics等の小口径バッチ処理に好適 ■RIE, ICP, ICP-RIEと用途に応じたエッチングプロセス、PECVD, ICP-CVDでの成膜プロセスの　構成を用途に応じて選択可能 ■世界中での採用実績があり、Plasma-Therm LLCのグローバルネットワークで現地サポート

用途/実績例

【用途】 ■半導体製造プロセスでの成膜、エッチング、クリーニング、パターニング ■Micro LED等のフォトニクス応用に向けたサファイア基板、化合物半導体プロセス ■微細構造の細かな面にも対応する表面クリーニング ■故障解析等のデバイス評価プロセス

プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』

概要

※英語版カタログをダウンロードいただけます。

用途/実績例

【用途】 ■表面の単原子層のエッチング ※英語版カタログをダウンロードいただけます。
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所在地

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事業内容

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