カーボン - 企業ランキング(全22社)
更新日： 集計期間:2025年04月02日〜2025年04月29日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。 製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。 滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用できるガラス状カーボンビーズと、ガラス状カーボンの特性にさらに通気性、通液性を併せ持ち、真空チャック用途などに使用実績がある多孔質ガラス状カーボンもございます。 | 【主な用途】 ・プラズマエッチング、CVD装置用部材 ・スパッタリングターゲット ・高純度耐薬品性部材 ・分析装置用部材 ・X線機器用部材 ・造孔材(ガラス状カーボンビーズ) ・フィラー(ガラス状カーボンビーズ) ・真空チャック用部材(多孔質ガラス状カーボン) ・各種フィルタ(多孔質ガラス状カーボン) ・ガス拡散用部材(多孔質ガラス状カーボン) | ||
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株式会社渡辺商行
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- 代表製品
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ガラス状カーボン「耐薬品性・耐腐食性に優れた炭素材料」
- 概要
- ガラス状カーボンは、一般的な炭素材料の特性である、耐薬品性、耐腐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。 製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。 滑らかな表面状態の真球状炭素材料で、フィラーやセラミックス等の造孔材として使用できるガラス状カーボンビーズと、ガラス状カーボンの特性にさらに通気性、通液性を併せ持ち、真空チャック用途などに使用実績がある多孔質ガラス状カーボンもございます。
- 用途/実績例
- 【主な用途】 ・プラズマエッチング、CVD装置用部材 ・スパッタリングターゲット ・高純度耐薬品性部材 ・分析装置用部材 ・X線機器用部材 ・造孔材(ガラス状カーボンビーズ) ・フィラー(ガラス状カーボンビーズ) ・真空チャック用部材(多孔質ガラス状カーボン) ・各種フィルタ(多孔質ガラス状カーボン) ・ガス拡散用部材(多孔質ガラス状カーボン)
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株式会社渡辺商行
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