クリーニング装置 - 企業ランキング(全45社)
更新日: 集計期間:2026年04月08日〜2026年05月05日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 実装基板用のプラズマクリーニング装置「POEM]及び量産用プラズマクリーニング装置のハードを応用、クリーニング用ガス及びプロセスレシピをバージョンアップ。 豊富なレシピによる目的別クリーニングプロセスを実現。 水素ガス単体によるプラズマクリーニングの高還元性クリーニングに加え... | 実装基板クリーニング フォトマスク等ガラス基板クリーニング 樹脂フィルム表面改質・クリーニング | ||
| 250mm□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。 従来機「POEM」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とO2イオンでDLCを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。 プラズマエッチングで蓄積されたマ... | 非球面レンズのDLC除膜 光ディスクスタンパ クリーニング・表面処理 樹脂成型用金型のクリーニング | ||
| 平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、パワーデバイスモジュール、リードフレーム、樹脂フィルム、フレキシブル実装基板の量産ラインに対応 搬送機構・クリーニング前後機構をを独自設計、プリント基板・ヒートシンク等のインライン搬送・フレ... | 基板実装、半田付、リフロー前のクリーニング パワーデバイスモジュール実装前のクリーニング フレキシブルプリント基板のクリーニング、親水化 樹脂フィルム、樹脂基板のクリーニング・親水化 樹脂基成形品の親水化・表面処理 | ||
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- 代表製品
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水素プラズマクリーニング装置(イオンクリーニングタイプ)
- 概要
- 実装基板用のプラズマクリーニング装置「POEM]及び量産用プラズマクリーニング装置のハードを応用、クリーニング用ガス及びプロセスレシピをバージョンアップ。 豊富なレシピによる目的別クリーニングプロセスを実現。 水素ガス単体によるプラズマクリーニングの高還元性クリーニングに加え...
- 用途/実績例
- 実装基板クリーニング フォトマスク等ガラス基板クリーニング 樹脂フィルム表面改質・クリーニング
DLC除膜装置(精密金型用プラズマクリーナー)
- 概要
- 250mm□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。 従来機「POEM」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とO2イオンでDLCを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。 プラズマエッチングで蓄積されたマ...
- 用途/実績例
- 非球面レンズのDLC除膜 光ディスクスタンパ クリーニング・表面処理 樹脂成型用金型のクリーニング
量産用プラズマクリーニング装置(大型プラズマクリーナー)
- 概要
- 平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、パワーデバイスモジュール、リードフレーム、樹脂フィルム、フレキシブル実装基板の量産ラインに対応 搬送機構・クリーニング前後機構をを独自設計、プリント基板・ヒートシンク等のインライン搬送・フレ...
- 用途/実績例
- 基板実装、半田付、リフロー前のクリーニング パワーデバイスモジュール実装前のクリーニング フレキシブルプリント基板のクリーニング、親水化 樹脂フィルム、樹脂基板のクリーニング・親水化 樹脂基成形品の親水化・表面処理
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神港精機株式会社 東京支店