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クリーニング装置 - 企業ランキング(全45社)

更新日: 集計期間:2026年04月08日〜2026年05月05日
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会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
実装基板用のプラズマクリーニング装置「POEM]及び量産用プラズマクリーニング装置のハードを応用、クリーニング用ガス及びプロセスレシピをバージョンアップ。 豊富なレシピによる目的別クリーニングプロセスを実現。 水素ガス単体によるプラズマクリーニングの高還元性クリーニングに加え... 実装基板クリーニング フォトマスク等ガラス基板クリーニング 樹脂フィルム表面改質・クリーニング
250mm□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。 従来機「POEM」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とO2イオンでDLCを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。 プラズマエッチングで蓄積されたマ... 非球面レンズのDLC除膜 光ディスクスタンパ クリーニング・表面処理 樹脂成型用金型のクリーニング
平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、パワーデバイスモジュール、リードフレーム、樹脂フィルム、フレキシブル実装基板の量産ラインに対応 搬送機構・クリーニング前後機構をを独自設計、プリント基板・ヒートシンク等のインライン搬送・フレ... 基板実装、半田付、リフロー前のクリーニング パワーデバイスモジュール実装前のクリーニング フレキシブルプリント基板のクリーニング、親水化 樹脂フィルム、樹脂基板のクリーニング・親水化 樹脂基成形品の親水化・表面処理
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  1. 代表製品
    水素プラズマクリーニング装置(イオンクリーニングタイプ)水素プラズマクリーニング装置(イオンクリーニングタイプ)
    概要
    実装基板用のプラズマクリーニング装置「POEM]及び量産用プラズマクリーニング装置のハードを応用、クリーニング用ガス及びプロセスレシピをバージョンアップ。 豊富なレシピによる目的別クリーニングプロセスを実現。 水素ガス単体によるプラズマクリーニングの高還元性クリーニングに加え...
    用途/実績例
    実装基板クリーニング フォトマスク等ガラス基板クリーニング 樹脂フィルム表面改質・クリーニング
    DLC除膜装置(精密金型用プラズマクリーナー)DLC除膜装置(精密金型用プラズマクリーナー)
    概要
    250mm□の処理ステージに均一なプラズマを実現したプラズマクリーニング装置。 従来機「POEM」よりイオンエネルギーを向上。より強いイオン衝撃とO2イオンでDLCを除膜。ドライプロセスで基板ダメージと廃液処理の不要なクリーンプロセスを実現。 プラズマエッチングで蓄積されたマ...
    用途/実績例
    非球面レンズのDLC除膜 光ディスクスタンパ クリーニング・表面処理 樹脂成型用金型のクリーニング
    量産用プラズマクリーニング装置(大型プラズマクリーナー)量産用プラズマクリーニング装置(大型プラズマクリーナー)
    概要
    平行平板型高周波真空プラズマによる各種基板のクリーニング・親水化に実績 プリント基板、パワーデバイスモジュール、リードフレーム、樹脂フィルム、フレキシブル実装基板の量産ラインに対応 搬送機構・クリーニング前後機構をを独自設計、プリント基板・ヒートシンク等のインライン搬送・フレ...
    用途/実績例
    基板実装、半田付、リフロー前のクリーニング パワーデバイスモジュール実装前のクリーニング フレキシブルプリント基板のクリーニング、親水化 樹脂フィルム、樹脂基板のクリーニング・親水化 樹脂基成形品の親水化・表面処理