コーティング装置 - 企業ランキング(全45社)
更新日: 集計期間:2026年07月15日〜2026年08月11日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 立体毛状基板(機械部品・治工具・金型)対応の従来型硬質膜用ADMS装置にAlN膜用カソードとプロセスソフト装備可能 ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。 高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナップ。 | 半導体製造装置部品・静電チャック セラミック表面処理 ヒートシンク 絶縁基板 治工具 金型等 | ||
PIG式 DLCコーティング装置
応相談 |
【DLC膜の特長】 ■摺動部品 ・高硬度 ・低摩擦係数=0.1 ・低い相手攻撃性 ■切削工具、金型 ・耐摩耗性 ・非溶着性 ・ドライ加工 ■光学部品 ・赤外通過性 ・屈折率=2 ・表面平滑性 | ||
| PIG式DLC膜コーティング装置の基本構成本体にアーク放電型マグネトロンスパッタリングカソードを2元追加。硬質の窒化膜・酸窒化膜を積層可能。さらにナノレベルでスムースなDLCの下地や他の硬質膜との積層で新しい機能硬質膜を実現。 硬質膜と個体潤滑膜のそれぞれの目的でも充分活用可能... | 自動車部品コーティング 金型・刃物コーティング | ||
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- 代表製品
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ALNコーティング装置(高密度プラズマスパッタADMS装置)
- 概要
- 立体毛状基板(機械部品・治工具・金型)対応の従来型硬質膜用ADMS装置にAlN膜用カソードとプロセスソフト装備可能 ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。 高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナップ。
- 用途/実績例
- 半導体製造装置部品・静電チャック セラミック表面処理 ヒートシンク 絶縁基板 治工具 金型等
PIG式 DLCコーティング装置
- 概要
- 【DLC膜の特長】 ■摺動部品 ・高硬度 ・低摩擦係数=0.1 ・低い相手攻撃性 ■切削工具、金型 ・耐摩耗性 ・非溶着性 ・ドライ加工 ■光学部品 ・赤外通過性 ・屈折率=2 ・表面平滑性
- 用途/実績例
ハイブリッド硬質膜コーティング装置(DLCーCVD+PVD装置)
- 概要
- PIG式DLC膜コーティング装置の基本構成本体にアーク放電型マグネトロンスパッタリングカソードを2元追加。硬質の窒化膜・酸窒化膜を積層可能。さらにナノレベルでスムースなDLCの下地や他の硬質膜との積層で新しい機能硬質膜を実現。 硬質膜と個体潤滑膜のそれぞれの目的でも充分活用可能...
- 用途/実績例
- 自動車部品コーティング 金型・刃物コーティング
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