コーティング装置 - 企業ランキング(全45社)
更新日: 集計期間:2026年08月26日〜2026年09月22日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 高密度プラズマスパッタカソードを最大4元装備。量産対応の大型バッチタイプスパッタ装置。 立体形状基板の全面コーティングに対応した基板自公転機構を備え、小型機械部品の生産に最適。 実績豊富な各部機構と制御ソフトに加えデータロギングソフト等優れたインターフェースによって優れた操作... | 自働車部品(摺動部品)燃料電池セパレーター等 | ||
PIG式 DLCコーティング装置
応相談 |
【DLC膜の特長】 ■摺動部品 ・高硬度 ・低摩擦係数=0.1 ・低い相手攻撃性 ■切削工具、金型 ・耐摩耗性 ・非溶着性 ・ドライ加工 ■光学部品 ・赤外通過性 ・屈折率=2 ・表面平滑性 | ||
| 電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜(窒化膜・酸化膜・炭化膜)を形成。 成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供 充実の成膜プロセス ・耐プラズマ性イットリア膜(1... | イットリアコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・耐熱性部品表面処理 SiCコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・精密金型 ・耐酸化性表面処理 | ||
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- 代表製品
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水素フリーDLCコーティング装置(高密度スパッタADMS装置)
- 概要
- 高密度プラズマスパッタカソードを最大4元装備。量産対応の大型バッチタイプスパッタ装置。 立体形状基板の全面コーティングに対応した基板自公転機構を備え、小型機械部品の生産に最適。 実績豊富な各部機構と制御ソフトに加えデータロギングソフト等優れたインターフェースによって優れた操作...
- 用途/実績例
- 自働車部品(摺動部品)燃料電池セパレーター等
PIG式 DLCコーティング装置
- 概要
- 【DLC膜の特長】 ■摺動部品 ・高硬度 ・低摩擦係数=0.1 ・低い相手攻撃性 ■切削工具、金型 ・耐摩耗性 ・非溶着性 ・ドライ加工 ■光学部品 ・赤外通過性 ・屈折率=2 ・表面平滑性
- 用途/実績例
イットリアコーティング装置(AF-IP装置)
- 概要
- 電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜(窒化膜・酸化膜・炭化膜)を形成。 成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供 充実の成膜プロセス ・耐プラズマ性イットリア膜(1...
- 用途/実績例
- イットリアコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・耐熱性部品表面処理 SiCコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・精密金型 ・耐酸化性表面処理
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神港精機株式会社 東京支店