コーティング装置 - 企業ランキング(全45社)
更新日： 集計期間:2026年05月27日〜2026年06月23日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜（窒化膜・酸化膜・炭化膜）を形成。 成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供 充実の成膜プロセス ・耐プラズマ性イットリア膜（１... | イットリアコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・耐熱性部品表面処理 ＳｉＣコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・精密金型 ・耐酸化性表面処理 | ||
| 立体毛状基板（機械部品・治工具・金型）対応の従来型硬質膜用ＡＤＭＳ装置にＡｌＮ膜用カソードとプロセスソフト装備可能 ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。 高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナップ。 | 半導体製造装置部品・静電チャック セラミック表面処理 ヒートシンク 絶縁基板 治工具 金型等 | ||
| 独自開発高密度プラズマ源（ＰＩＧプラズマ源）を装備 自公転機構によるハイレート全面成膜機構 各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア | 赤外センサモジュールカバーガラス | ||
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神港精機株式会社 東京支店
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- 代表製品
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イットリアコーティング装置（ＡＦ－ＩＰ装置）
- 概要
- 電子ビームによる各種材料の蒸発とアークフィラメント式イオン化法により安定して反応膜生成膜（窒化膜・酸化膜・炭化膜）を形成。 成膜レートも反応ガス流量のみで制御。シンプルで信頼性の高いハードにより最新の成膜プロセスを提供 充実の成膜プロセス ・耐プラズマ性イットリア膜（１...
- 用途/実績例
- イットリアコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・耐熱性部品表面処理 ＳｉＣコーティング ・半導体製造装置部品表面処理 ・精密金型 ・耐酸化性表面処理
ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）
- 概要
- 立体毛状基板（機械部品・治工具・金型）対応の従来型硬質膜用ＡＤＭＳ装置にＡｌＮ膜用カソードとプロセスソフト装備可能 ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。 高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナップ。
- 用途/実績例
- 半導体製造装置部品・静電チャック セラミック表面処理 ヒートシンク 絶縁基板 治工具 金型等
赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置
- 概要
- 独自開発高密度プラズマ源（ＰＩＧプラズマ源）を装備 自公転機構によるハイレート全面成膜機構 各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア
- 用途/実績例
- 赤外センサモジュールカバーガラス
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神港精機株式会社 東京支店
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