サーモ - 企業ランキング(全11社)
更新日： 集計期間:2025年07月02日〜2025年07月29日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| ■ETU201-VW 温度制御範囲：10.0～60.0℃(但し結露なきこと) 温度制御精度：±0.03℃ 冷却能力：200W 加熱能力：400W 使用周囲温度範囲：10～35℃ ■ETU302-VW 温度制御範囲：10.0～60.0℃(但し結露なきこと) 温度制御精度：±0.03℃ 冷却能力：300W 加熱能力：600W 使用周囲温度範囲：10～35℃ ■ETU702-VW 温度制御範囲：10.0～60.0℃(但し結露なきこと) 温度制御精度：±0.03℃ 冷却能力：700W 加熱能力：1,000W 使用周囲温度範囲：10～35℃ | ウェハレジスト液の温調・エッチング液の温調・光ディスク塗布液の温調 ・液晶ガラス塗布液の温調・ウェハ、ガラス基板のプレート温調※薬液を温調する場合は間接温調にしてください。 | ||
| ■ETN23A-N 温度制御範囲：15～50℃ 制御精度：±0.1℃(条件によって異なる) 冷却能力/加熱能力：約280/約600W ■ETN45A-N 温度制御範囲：15～50℃ 制御精度：±0.1℃(条件によって異なる) 冷却能力/加熱能力：約約460/約1,000W ■ETN90A-N 温度制御範囲：15～50℃ 制御精度：±0.1℃(条件によって異なる) 冷却能力/加熱能力：約約920/約2,000W 【共通仕様】 使用周囲温度範囲：15～35℃ 放熱(冷却)方式：水冷式 適用流体：DIW/DHF/BHF/FPM/SC1 ■ETD232-SA-A-G2(電源ユニット) 入力電流(AC208V時)：最大約4.5A ■ETD452-SA-G2(電源ユニット) 入力電流(AC208V時)：最大約9A ■ETD832-SA-G2(電源ユニット) 入力電流(AC208V時)：最大約17A 【電源ユニット共通仕様】 電源：単相200～240V(50/60Hz) 制御方式：PID制御オートチューニング | 電子冷凍方式を用いた±0.05℃の高精度型、投げ込み式・循環式のコンパクト型、薬液のダイレクト温度制御装置など、先端産業から理化学分野まで幅広く活躍しています。 半導体製造装置・液晶関連製造装置・電子顕微鏡といった研究実験装置など、各種機器の局所温調や薬液温調などに利用されています。 | ||
| ■EKS250-G2 温度制御範囲：15～30℃ 温度制御精度：±0.05℃ 制御方式：電子冷凍・PID制御オートチューニング 冷却能力：250W以上 使用周囲温度範囲：10～35℃ | YAG レーザマーカ・トリマー用チラー・LD式印刷機用チラー・理科学用高精度チラー | ||
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東栄株式会社
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- 代表製品
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高精度水用温度調節機 ペルサーモ ETU
- 概要
- ■ETU201-VW 温度制御範囲：10.0～60.0℃(但し結露なきこと) 温度制御精度：±0.03℃ 冷却能力：200W 加熱能力：400W 使用周囲温度範囲：10～35℃ ■ETU302-VW 温度制御範囲：10.0～60.0℃(但し結露なきこと) 温度制御精度：±0.03℃ 冷却能力：300W 加熱能力：600W 使用周囲温度範囲：10～35℃ ■ETU702-VW 温度制御範囲：10.0～60.0℃(但し結露なきこと) 温度制御精度：±0.03℃ 冷却能力：700W 加熱能力：1,000W 使用周囲温度範囲：10～35℃
- 用途/実績例
- ウェハレジスト液の温調・エッチング液の温調・光ディスク塗布液の温調 ・液晶ガラス塗布液の温調・ウェハ、ガラス基板のプレート温調※薬液を温調する場合は間接温調にしてください。
薬液用温調装置 ケミカルペルサーモ ETD・ETN（水冷）
- 概要
- ■ETN23A-N 温度制御範囲：15～50℃ 制御精度：±0.1℃(条件によって異なる) 冷却能力/加熱能力：約280/約600W ■ETN45A-N 温度制御範囲：15～50℃ 制御精度：±0.1℃(条件によって異なる) 冷却能力/加熱能力：約約460/約1,000W ■ETN90A-N 温度制御範囲：15～50℃ 制御精度：±0.1℃(条件によって異なる) 冷却能力/加熱能力：約約920/約2,000W 【共通仕様】 使用周囲温度範囲：15～35℃ 放熱(冷却)方式：水冷式 適用流体：DIW/DHF/BHF/FPM/SC1 ■ETD232-SA-A-G2(電源ユニット) 入力電流(AC208V時)：最大約4.5A ■ETD452-SA-G2(電源ユニット) 入力電流(AC208V時)：最大約9A ■ETD832-SA-G2(電源ユニット) 入力電流(AC208V時)：最大約17A 【電源ユニット共通仕様】 電源：単相200～240V(50/60Hz) 制御方式：PID制御オートチューニング
- 用途/実績例
- 電子冷凍方式を用いた±0.05℃の高精度型、投げ込み式・循環式のコンパクト型、薬液のダイレクト温度制御装置など、先端産業から理化学分野まで幅広く活躍しています。 半導体製造装置・液晶関連製造装置・電子顕微鏡といった研究実験装置など、各種機器の局所温調や薬液温調などに利用されています。
高精度水用温度調節機 ペルサーモ EKSシリーズ
- 概要
- ■EKS250-G2 温度制御範囲：15～30℃ 温度制御精度：±0.05℃ 制御方式：電子冷凍・PID制御オートチューニング 冷却能力：250W以上 使用周囲温度範囲：10～35℃
- 用途/実績例
- YAG レーザマーカ・トリマー用チラー・LD式印刷機用チラー・理科学用高精度チラー
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東栄株式会社
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