ステージシステム - 企業ランキング(全8社)
更新日: 集計期間:2026年09月09日〜2026年10月06日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
シグマテック株式会社 会社案内
応相談 |
【取扱製品(抜粋)】 ■フィードバックステージシステム ・1nmフィードバックステージシステム ・5nmフィードバックステージシステム ・10nmフィードバックステージシステム ・サブミクロンフィールドバックステージシステム ■真空対応フィードバックステージシステム ... | ||
| ■ステージ 最小分解能:5nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~50mm 最大移動速度:2mm/sec 対応真空度:10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:5nm 最大動作速度設定値:30mm/sec(ステージの最大... | 微細な位置決めを必要とする様々な分野。 X線を利用した研究分野 半導体分野 | ||
| ■ステージ 最小分解能:5nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~50mm 最大移動速度:5mm/sec ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:5nm 最大動作速度設定値:30mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御... | 微細な位置決めを必要とする様々な分野。 検査装置及び露光装置、レーザー加工装置への応用 バイオ関係の高再現性が必要な顕微鏡用ステージなど | ||
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- 代表製品
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シグマテック株式会社 会社案内
- 概要
- 【取扱製品(抜粋)】 ■フィードバックステージシステム ・1nmフィードバックステージシステム ・5nmフィードバックステージシステム ・10nmフィードバックステージシステム ・サブミクロンフィールドバックステージシステム ■真空対応フィードバックステージシステム ...
- 用途/実績例
真空対応5nmフィードバックステージシステム
- 概要
- ■ステージ 最小分解能:5nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~50mm 最大移動速度:2mm/sec 対応真空度:10^-4 Pa ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:5nm 最大動作速度設定値:30mm/sec(ステージの最大...
- 用途/実績例
- 微細な位置決めを必要とする様々な分野。 X線を利用した研究分野 半導体分野
5nmフィードバックステージシステム(精密位置決め装置)
- 概要
- ■ステージ 最小分解能:5nm(内蔵スケールの読み取り値に対して) ストローク:20mm~50mm 最大移動速度:5mm/sec ■コントローラ 制御軸数:2 最小指令単位:5nm 最大動作速度設定値:30mm/sec(ステージの最大移動速度が優先されます) 制御...
- 用途/実績例
- 微細な位置決めを必要とする様々な分野。 検査装置及び露光装置、レーザー加工装置への応用 バイオ関係の高再現性が必要な顕微鏡用ステージなど
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