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ソース - 企業ランキング(全35社)

更新日: 集計期間:2025年10月22日〜2025年11月18日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【メリット(抜粋)】 ■短時間で交換後、プロセス再起動できるよう、個別ワイヤーが取り付けられた分割ソース設計 ■真空フランジは蓋またはドアから外さず作業可能 ■ワイヤーは通電の有無を選択できるので、製膜装置の生産稼働時間延長に役立つ ■プラズマ不使用プロセス:イオン衝撃や... 【用途】 ■ガス分配システム
【メリット(抜粋)】 ■シンプルでスケーリング可能な設計で頑丈の挙動および簡単なカスタマイズを実現 ■高密度プラズマの処理に関して、CCPおよびICPに匹敵し、コストはICPより低廉 ■RFとVHFの電源選択可能 ■低い電源出力 ■低放電電圧で穏やかな処理を実現 【用途】 ■表面処理
【メリット】 ■最高で4週間のキャンペーン時間 ■優れたエッチング均一性 ■簡単なカスタマイズ 【用途】 ■前処理と表面改質に適したコンポーネント
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  1. 代表製品
    ホットワイヤーソース『HWCV/DCAT-CVD/ICVD』ホットワイヤーソース『HWCV/DCAT-CVD/ICVD』
    概要
    【メリット(抜粋)】 ■短時間で交換後、プロセス再起動できるよう、個別ワイヤーが取り付けられた分割ソース設計 ■真空フランジは蓋またはドアから外さず作業可能 ■ワイヤーは通電の有無を選択できるので、製膜装置の生産稼働時間延長に役立つ ■プラズマ不使用プロセス:イオン衝撃や...
    用途/実績例
    【用途】 ■ガス分配システム
    ホローカソードソース『HCS』ホローカソードソース『HCS』
    概要
    【メリット(抜粋)】 ■シンプルでスケーリング可能な設計で頑丈の挙動および簡単なカスタマイズを実現 ■高密度プラズマの処理に関して、CCPおよびICPに匹敵し、コストはICPより低廉 ■RFとVHFの電源選択可能 ■低い電源出力 ■低放電電圧で穏やかな処理を実現
    用途/実績例
    【用途】 ■表面処理
    リニアイオンソース『LION』リニアイオンソース『LION』
    概要
    【メリット】 ■最高で4週間のキャンペーン時間 ■優れたエッチング均一性 ■簡単なカスタマイズ
    用途/実績例
    【用途】 ■前処理と表面改質に適したコンポーネント