分光器 - 企業ランキング(全45社)
更新日: 集計期間:2026年04月08日〜2026年05月05日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。 | ■微小領域(~1μm)の組成分析・面分析 ・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析 ・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析 ・Niシリサイドの形状、組成分析 | ||
| ■赤外分光法 最もよく利用されるのは、中赤外の領域(2.5~25μm)で、この領域の吸収スペクトルは、分子振動のなかでも、双極子モーメントの変化を伴う振動によって生じることから、振動スペクトルとも言われます。 分子に赤外線を照射すると、赤外線の振動周期と原子の振動周期が一致す... | ・異物の定性分析 ・有機膜の材質評価 ・SiO2膜の状態評価 ・樹脂の硬化度評価 ・ポリイミドのイミド化率評価 ・プラスチックの劣化評価 ・接着剤の成分分析 | ||
AESの異物分析における注意点
応相談 |
詳しいデータはカタログをご覧ください | LSI・メモリの分析です | |
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- 代表製品
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[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
- 概要
- EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。
- 用途/実績例
- ■微小領域(~1μm)の組成分析・面分析 ・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析 ・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析 ・Niシリサイドの形状、組成分析
[FT-IR]フーリエ変換赤外分光法
- 概要
- ■赤外分光法 最もよく利用されるのは、中赤外の領域(2.5~25μm)で、この領域の吸収スペクトルは、分子振動のなかでも、双極子モーメントの変化を伴う振動によって生じることから、振動スペクトルとも言われます。 分子に赤外線を照射すると、赤外線の振動周期と原子の振動周期が一致す...
- 用途/実績例
- ・異物の定性分析 ・有機膜の材質評価 ・SiO2膜の状態評価 ・樹脂の硬化度評価 ・ポリイミドのイミド化率評価 ・プラスチックの劣化評価 ・接着剤の成分分析
AESの異物分析における注意点
- 概要
- 詳しいデータはカタログをご覧ください
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