分光器 - 企業ランキング(全45社)
更新日: 集計期間:2026年02月25日〜2026年03月24日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。 | ■微小領域(~1μm)の組成分析・面分析 ・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析 ・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析 ・Niシリサイドの形状、組成分析 | ||
| 太陽電池・照明・酸化物半導体・パワーデバイスの分析です | |||
[UPS]紫外光電子分光法
応相談 |
測定試料の仕事関数値よりも高いエネルギーを持つ紫外光を照射することで、試料表面から電子が放出されます。(紫外光:He I線21.22eV) 放出された電子の運動エネルギー分布(右図)から試料の価電子状態を得、更にスペクトル幅より仕事関数は以下の表式を用いて求めます。 | ・Au、Ag、Cuなど金属膜の仕事関数評価 ・TiNなど窒化膜の仕事関数評価 ・酸化物半導体のイオン化ポテンシャル評価 ・太陽電池材料の価電子帯評価 | |
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- 代表製品
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[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
- 概要
- EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。
- 用途/実績例
- ■微小領域(~1μm)の組成分析・面分析 ・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析 ・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析 ・Niシリサイドの形状、組成分析
【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価
- 概要
- 用途/実績例
- 太陽電池・照明・酸化物半導体・パワーデバイスの分析です
[UPS]紫外光電子分光法
- 概要
- 測定試料の仕事関数値よりも高いエネルギーを持つ紫外光を照射することで、試料表面から電子が放出されます。(紫外光:He I線21.22eV) 放出された電子の運動エネルギー分布(右図)から試料の価電子状態を得、更にスペクトル幅より仕事関数は以下の表式を用いて求めます。
- 用途/実績例
- ・Au、Ag、Cuなど金属膜の仕事関数評価 ・TiNなど窒化膜の仕事関数評価 ・酸化物半導体のイオン化ポテンシャル評価 ・太陽電池材料の価電子帯評価
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