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分光器 - 企業ランキング(全45社)

更新日: 集計期間:2026年02月25日〜2026年03月24日
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会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。 ■微小領域(~1μm)の組成分析・面分析 ・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析 ・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析 ・Niシリサイドの形状、組成分析
太陽電池・照明・酸化物半導体・パワーデバイスの分析です
測定試料の仕事関数値よりも高いエネルギーを持つ紫外光を照射することで、試料表面から電子が放出されます。(紫外光:He I線21.22eV) 放出された電子の運動エネルギー分布(右図)から試料の価電子状態を得、更にスペクトル幅より仕事関数は以下の表式を用いて求めます。 ・Au、Ag、Cuなど金属膜の仕事関数評価 ・TiNなど窒化膜の仕事関数評価 ・酸化物半導体のイオン化ポテンシャル評価 ・太陽電池材料の価電子帯評価
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  1. 代表製品
    [TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
    概要
    EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。
    用途/実績例
    ■微小領域(~1μm)の組成分析・面分析 ・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析 ・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析 ・Niシリサイドの形状、組成分析
    【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価【分析事例】酸化・窒化薄膜のバンドギャップ評価
    概要
    用途/実績例
    太陽電池・照明・酸化物半導体・パワーデバイスの分析です
    [UPS]紫外光電子分光法[UPS]紫外光電子分光法
    概要
    測定試料の仕事関数値よりも高いエネルギーを持つ紫外光を照射することで、試料表面から電子が放出されます。(紫外光:He I線21.22eV) 放出された電子の運動エネルギー分布(右図)から試料の価電子状態を得、更にスペクトル幅より仕事関数は以下の表式を用いて求めます。
    用途/実績例
    ・Au、Ag、Cuなど金属膜の仕事関数評価 ・TiNなど窒化膜の仕事関数評価 ・酸化物半導体のイオン化ポテンシャル評価 ・太陽電池材料の価電子帯評価