分光器 - 企業ランキング(全45社)
更新日: 集計期間:2026年10月14日〜2026年11月10日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
[UPS]紫外光電子分光法
応相談 |
測定試料の仕事関数値よりも高いエネルギーを持つ紫外光を照射することで、試料表面から電子が放出されます。(紫外光:He I線21.22eV) 放出された電子の運動エネルギー分布(右図)から試料の価電子状態を得、更にスペクトル幅より仕事関数は以下の表式を用いて求めます。 | ・Au、Ag、Cuなど金属膜の仕事関数評価 ・TiNなど窒化膜の仕事関数評価 ・酸化物半導体のイオン化ポテンシャル評価 ・太陽電池材料の価電子帯評価 | |
| EELSとは、入射した電子線が試料内の電子を励起する際に失ったエネルギーを測定することで、試料の組成や元素の結合状態を分析する分光法です。 EELSは大きく分けて3つの領域に分けられます。 1:ゼロロス試料と相互作用せずに透過してきた電子、および弾性散乱した電子 2:価... | ■微小領域(0.2nm~1μm)の組成分析・面分析 ・定性分析-軽元素、遷移元素の評価 ・元素の化学状態評価-カーボンの結晶質/非晶質-相転移、化合物の結合状態評価 ・試料の厚み評価 | ||
| 詳しいデータはカタログをご覧ください | LSI・メモリの分析です | ||
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- 代表製品
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[UPS]紫外光電子分光法
- 概要
- 測定試料の仕事関数値よりも高いエネルギーを持つ紫外光を照射することで、試料表面から電子が放出されます。(紫外光:He I線21.22eV) 放出された電子の運動エネルギー分布(右図)から試料の価電子状態を得、更にスペクトル幅より仕事関数は以下の表式を用いて求めます。
- 用途/実績例
- ・Au、Ag、Cuなど金属膜の仕事関数評価 ・TiNなど窒化膜の仕事関数評価 ・酸化物半導体のイオン化ポテンシャル評価 ・太陽電池材料の価電子帯評価
[TEM-EELS]電子エネルギー損失分光法
- 概要
- EELSとは、入射した電子線が試料内の電子を励起する際に失ったエネルギーを測定することで、試料の組成や元素の結合状態を分析する分光法です。 EELSは大きく分けて3つの領域に分けられます。 1:ゼロロス試料と相互作用せずに透過してきた電子、および弾性散乱した電子 2:価...
- 用途/実績例
- ■微小領域(0.2nm~1μm)の組成分析・面分析 ・定性分析-軽元素、遷移元素の評価 ・元素の化学状態評価-カーボンの結晶質/非晶質-相転移、化合物の結合状態評価 ・試料の厚み評価
【分析事例】角度分解XPS(ARXPS)による極薄膜組成分布評価
- 概要
- 詳しいデータはカタログをご覧ください
- 用途/実績例
- LSI・メモリの分析です
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