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分光器 - 企業ランキング(全45社)

更新日: 集計期間:2026年05月27日〜2026年06月23日
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会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。 ■微小領域(~1μm)の組成分析・面分析 ・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析 ・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析 ・Niシリサイドの形状、組成分析
発光を生じさせるための励起源としてエネルギー可変、高強度などの特長を持った放射光を用います。 ・希薄磁性半導体Ga1-xCrxN中のギャップ内準位評価 ・HOPG(高配向性熱分解グラファイト)中の微量ホウ素の局所構造解析 ・酸化物半導体中の微量軽元素の化学結合状態評価 ・各種薄膜試料のバンド構造評価(XASとの複合解析)
詳しいデータはカタログをご覧ください パワーデバイス・LSI・メモリの分析です
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  1. 代表製品
    [TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)[TEM-EDX]エネルギー分散型X線分光法(TEM)
    概要
    EDXは、分析対象領域に電子線照射した際に発生する特性X線の、エネルギーと発生回数を計測する手法です。特定X線のエネルギーは元素固有なの で、試料を構成する元素の同定が行えます。また、強度から組成に関する情報が得られます。
    用途/実績例
    ■微小領域(~1μm)の組成分析・面分析 ・RIE/ウェットエッチング後のデポジション物解析 ・KLA欠陥検査装置で特定されたウエハ欠陥箇所の異物解析 ・Niシリサイドの形状、組成分析
    [SXES]軟X線発光分光法[SXES]軟X線発光分光法
    概要
    発光を生じさせるための励起源としてエネルギー可変、高強度などの特長を持った放射光を用います。
    用途/実績例
    ・希薄磁性半導体Ga1-xCrxN中のギャップ内準位評価 ・HOPG(高配向性熱分解グラファイト)中の微量ホウ素の局所構造解析 ・酸化物半導体中の微量軽元素の化学結合状態評価 ・各種薄膜試料のバンド構造評価(XASとの複合解析)
    XPSにおける吸着酸素の影響XPSにおける吸着酸素の影響
    概要
    詳しいデータはカタログをご覧ください
    用途/実績例
    パワーデバイス・LSI・メモリの分析です