干渉計 - 企業ランキング(全18社)
更新日: 集計期間:2026年05月20日〜2026年06月16日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 直線位置決め 測定範囲:±5 m、精度:0.0005%(波長補正なし)、分解能10 nm ヨーイング 測定範囲:±3600アーク秒: ±5°(角度補正)、精度±0.2%(表示値より)、分解能:0.1アーク秒 ピッチング 測定範囲:±3600アーク秒: ±5°(角度補正)、精度±0... | 干渉計用光学部品として ウエハ・FPDステッパーなどの半導体製造装置、CNCマシンなど工作機械分野や、モーションシステムの変位測定や各国の標準研究機関など、5000件を超える納入実績があり、世界でディファクトスタンダートになっています。 様々なアプリケーションに対して、線形干... | ||
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- 代表製品
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Excel Precision 高精度6DOFレーザー干渉計
- 概要
- 直線位置決め 測定範囲:±5 m、精度:0.0005%(波長補正なし)、分解能10 nm ヨーイング 測定範囲:±3600アーク秒: ±5°(角度補正)、精度±0.2%(表示値より)、分解能:0.1アーク秒 ピッチング 測定範囲:±3600アーク秒: ±5°(角度補正)、精度±0...
- 用途/実績例
- 干渉計用光学部品として ウエハ・FPDステッパーなどの半導体製造装置、CNCマシンなど工作機械分野や、モーションシステムの変位測定や各国の標準研究機関など、5000件を超える納入実績があり、世界でディファクトスタンダートになっています。 様々なアプリケーションに対して、線形干...
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