成膜装置 - 企業ランキング(全37社)
更新日: 集計期間:2026年04月29日〜2026年05月26日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 | ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 | ||
| 【仕様(一部)】 ■PECVD装置 ・SiN3膜形成 ・SiO2膜形成 ・サンプルサイズ最大240mm ■スパッタ装置 ・金属膜 ・有機膜 ・サンプルサイズ最大150mm ■反応性イオンエッチング装置 ・表面処理 ・故障解析 ・サンプルサイズ最大200mm... | 【用途】 ■反応性イオンエッチング(RIE)、プラズマ成膜(PECVD)、スパッタ蒸着 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 | ||
| 【用途】 ■エッチング:Ni、Fe、ScAIN、PZT、LTO、LNO ■成膜:光学コーティング、ボロメーター、MRAM、Nb、Magnetic Tranducer | |||
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- 代表製品
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イオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』
- 概要
- ※英語版カタログをダウンロードいただけます。
- 用途/実績例
- ※英語版カタログをダウンロードいただけます。
卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』
- 概要
- 【仕様(一部)】 ■PECVD装置 ・SiN3膜形成 ・SiO2膜形成 ・サンプルサイズ最大240mm ■スパッタ装置 ・金属膜 ・有機膜 ・サンプルサイズ最大150mm ■反応性イオンエッチング装置 ・表面処理 ・故障解析 ・サンプルサイズ最大200mm...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■反応性イオンエッチング(RIE)、プラズマ成膜(PECVD)、スパッタ蒸着 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。
イオンビーム エッチング・成膜装置『QuaZar』
- 概要
- 用途/実績例
- 【用途】 ■エッチング:Ni、Fe、ScAIN、PZT、LTO、LNO ■成膜:光学コーティング、ボロメーター、MRAM、Nb、Magnetic Tranducer
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プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社