機能材料 - 企業ランキング(全9社)
更新日: 集計期間:2025年06月04日〜2025年07月01日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
![]() 機能材料『BN(窒化ホウ素)』
応相談 |
【グレード】 ■BN5000 ■BN7000 | 【用途】 ■ハースライナー ■るつぼ ■セッター | |
【特性(抜粋)】 ■密度(g/cm3):2.2 ■曲げ強度(Mpa):340 ■圧縮強度(MPa) ・100(a方向) ・250(c方向) ■熱伝導率(W/m・K) ・444(a方向) ・2.2(c方向) ※a方向=面方向、c方向=積層方向 | 【用途】 ■エッチング装置部品 ■ウエハトレイ ■電極 | ||
![]() 機能材料『CVD-SiC』
応相談 |
【特性】 ■色調:黒 ■密度(g/cm3):3.21 ■曲げ強度(Mpa):370 ■熱伝導率(W/m・K) ・250(HR) ・220(ELR) ■電気抵抗率(Ω.cm) ・>1 (HR) ・<0.1 (ELR) ■破壊靭性(Mpa/m1/2):2.94 | 【用途】 ■エッチャー装置部品 ■ウエハトレイ ■レンズ成型用型 | |
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- 代表製品
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機能材料『BN(窒化ホウ素)』
- 概要
- 【グレード】 ■BN5000 ■BN7000
- 用途/実績例
- 【用途】 ■ハースライナー ■るつぼ ■セッター
機能材料『PG(熱分解グラファイト)』
- 概要
- 【特性(抜粋)】 ■密度(g/cm3):2.2 ■曲げ強度(Mpa):340 ■圧縮強度(MPa) ・100(a方向) ・250(c方向) ■熱伝導率(W/m・K) ・444(a方向) ・2.2(c方向) ※a方向=面方向、c方向=積層方向
- 用途/実績例
- 【用途】 ■エッチング装置部品 ■ウエハトレイ ■電極
機能材料『CVD-SiC』
- 概要
- 【特性】 ■色調:黒 ■密度(g/cm3):3.21 ■曲げ強度(Mpa):370 ■熱伝導率(W/m・K) ・250(HR) ・220(ELR) ■電気抵抗率(Ω.cm) ・>1 (HR) ・<0.1 (ELR) ■破壊靭性(Mpa/m1/2):2.94
- 用途/実績例
- 【用途】 ■エッチャー装置部品 ■ウエハトレイ ■レンズ成型用型
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