気化器 - 企業ランキング(全7社)
更新日： 集計期間:2025年10月01日〜2025年10月28日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
|---|---|---|---|
| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series
10万円 ~ 50万円 |
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する と同時に高効率で気化可能 ○ピエゾバルブ採用 ○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応 ○最高160℃の加熱が可能 ○コ... | 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。 SiO2やTiO2、H2Oその他、各種成膜用途に減圧常圧問わず、幅広く使用されております。 | |
減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-450 series
10万円 ~ 50万円 |
○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 各種液体を精密流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○常圧条件下で水の気化供給が可能 ○最高200℃の加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○キャリアガスの流量に応じた豊富... | 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。 SiO2やTiO2、H2Oその他、各種成膜用途に減圧常圧問わず、幅広く使用されております。 | |
軽接触式気化器 VU-900 series
10万円 ~ 50万円 |
○液体を気化器の器壁（金属製）に接触する機会が少なく、 （軽接触）効率よく気化 ○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による 高効率気化 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 液体材料を精密流量制御し、効率良く気化... | 【用途】 ○半導体製造プロセス用の各種液体の気化供給 ○CVD,酸化・拡散用途 | |
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株式会社リンテック 東京営業所
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- 代表製品
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減圧・常圧プロセス用気化器 VU-206 series
- 概要
- ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 各種液体材料（TEOS、TEB、TEPO、etc）を精密流量制御する と同時に高効率で気化可能 ○ピエゾバルブ採用 ○常圧プロセスから減圧プロセスまで対応 ○最高160℃の加熱が可能 ○コ...
- 用途/実績例
- 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。 SiO2やTiO2、H2Oその他、各種成膜用途に減圧常圧問わず、幅広く使用されております。
減圧・常圧プロセス用高効率気化器 VU-450 series
- 概要
- ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 各種液体を精密流量制御し、効率よく気化（US PAT.5372754） ○常圧条件下で水の気化供給が可能 ○最高200℃の加熱が可能 ○コンパクトなボディサイズ ○キャリアガスの流量に応じた豊富...
- 用途/実績例
- 半導体・液晶・太陽電池・電子部品メーカーやその装置メーカーなどに幅広く納入されています。 SiO2やTiO2、H2Oその他、各種成膜用途に減圧常圧問わず、幅広く使用されております。
軽接触式気化器 VU-900 series
- 概要
- ○液体を気化器の器壁（金属製）に接触する機会が少なく、 （軽接触）効率よく気化 ○アトマイザによる液滴化とブローガスによる微細化による 高効率気化 ○液体マスフローメータLM-3000L seriesとの組合せにより、 液体材料を精密流量制御し、効率良く気化...
- 用途/実績例
- 【用途】 ○半導体製造プロセス用の各種液体の気化供給 ○CVD,酸化・拡散用途
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株式会社リンテック 東京営業所
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