照射ユニット - 企業ランキング(全6社)
更新日： 集計期間:2025年09月24日〜2025年10月21日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
高出力エキシマUV照射ユニット
応相談 |
【仕様】 ■波長：172nm ■照度：300mW/cm2以上（照射距離0ｍｍ） ■軸方向均斉度：±10％以下 ■寿命：2,000Hr（照度維持率70％以上、100Hrを100％と定義） ■有効発光長：120～1,540ｍｍ ■冷却：水冷 | 【用途】 ■半導体、液晶基板のドライ洗浄、アッシング ゴムローラ、シリコンシート等の表面改質 など | |
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東芝ライテック株式会社 産業デバイス事業部
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- 代表製品
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高出力エキシマUV照射ユニット
- 概要
- 【仕様】 ■波長：172nm ■照度：300mW/cm2以上（照射距離0ｍｍ） ■軸方向均斉度：±10％以下 ■寿命：2,000Hr（照度維持率70％以上、100Hrを100％と定義） ■有効発光長：120～1,540ｍｍ ■冷却：水冷
- 用途/実績例
- 【用途】 ■半導体、液晶基板のドライ洗浄、アッシング ゴムローラ、シリコンシート等の表面改質 など
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東芝ライテック株式会社 産業デバイス事業部
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