真空計 - 企業ランキング(全20社)
更新日： 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【仕様（抜粋）】 ■圧力表示範囲：0.01×10^-7～13.2×10^0Pa ■圧力表示：デジタル、測定レンジ自動切換 ■セットポイント：2点標準装備（ヒステリシス付き） ■通信機能：RS232C標準搭載（9600、4800、2400、1200bps） ■外形寸法（mm）：104W×99H×296D ■質量：1.2Kg ■消費電力：50VA AC90～240V 50/60Hz ■標準構成：真空計本体（測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません） ■対応：CEマーキング、RoHS | 【用途】 ■自動化真空装置の圧力測定 ■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ■マルチチャンバシステムでの圧力測定 ■一般真空装置の圧力測定 | ||
| 【その他特長】 ■APC（自動圧力制御）用に、便利なレンジホールド機能を標準装備 ■TC、CM などのあら引きゲージから B-A ゲージへ自動切換する オートフィラメント機能が搭載（M-823HG） ■ガス種による比感度の設定が可能 ■電源電圧は、AC100Vの他、AC115/200/230Vも特注にて対応可能 ■様々なオプションにより機能を拡張できる | 【用途】 ■自動化真空装置の圧力測定 ■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ■マルチチャンバシステムでの圧力測定 ■一般真空装置の圧力測定 | ||
| 【仕様（抜粋）】 ■圧力表示範囲：0.1×10^-7～1.32×10^1Pa ■圧力表示：測定レンジ自動切換 ■セットポイント：2点標準装備（オープンコレクタ） ■外形寸法（mm）：H99×W209×D330 ■質量：1.9kg（オプションボード未装着時） ■エミッション電流：10μA、100μA、1mA自動切換設定または固定設定 ■標準構成：真空計本体（測定球及びケーブルは構成品に含まれません） ■対応：CEマーキング、RoHS | 【用途】 ■自動化真空装置の圧力測定 ■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ■マルチチャンバシステムでの圧力測定 ■一般真空装置の圧力測定 | ||
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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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- 代表製品
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ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』
- 概要
- 【仕様（抜粋）】 ■圧力表示範囲：0.01×10^-7～13.2×10^0Pa ■圧力表示：デジタル、測定レンジ自動切換 ■セットポイント：2点標準装備（ヒステリシス付き） ■通信機能：RS232C標準搭載（9600、4800、2400、1200bps） ■外形寸法（mm）：104W×99H×296D ■質量：1.2Kg ■消費電力：50VA AC90～240V 50/60Hz ■標準構成：真空計本体（測定球及び、ケーブルは構成品に含まれません） ■対応：CEマーキング、RoHS
- 用途/実績例
- 【用途】 ■自動化真空装置の圧力測定 ■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ■マルチチャンバシステムでの圧力測定 ■一般真空装置の圧力測定
電離真空計『M-723HG、M-823HG、M-923HG』
- 概要
- 【その他特長】 ■APC（自動圧力制御）用に、便利なレンジホールド機能を標準装備 ■TC、CM などのあら引きゲージから B-A ゲージへ自動切換する オートフィラメント機能が搭載（M-823HG） ■ガス種による比感度の設定が可能 ■電源電圧は、AC100Vの他、AC115/200/230Vも特注にて対応可能 ■様々なオプションにより機能を拡張できる
- 用途/実績例
- 【用途】 ■自動化真空装置の圧力測定 ■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ■マルチチャンバシステムでの圧力測定 ■一般真空装置の圧力測定
ワイドレンジ電離真空計『M-833HG』
- 概要
- 【仕様（抜粋）】 ■圧力表示範囲：0.1×10^-7～1.32×10^1Pa ■圧力表示：測定レンジ自動切換 ■セットポイント：2点標準装備（オープンコレクタ） ■外形寸法（mm）：H99×W209×D330 ■質量：1.9kg（オプションボード未装着時） ■エミッション電流：10μA、100μA、1mA自動切換設定または固定設定 ■標準構成：真空計本体（測定球及びケーブルは構成品に含まれません） ■対応：CEマーキング、RoHS
- 用途/実績例
- 【用途】 ■自動化真空装置の圧力測定 ■スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御 ■マルチチャンバシステムでの圧力測定 ■一般真空装置の圧力測定
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キヤノンアネルバ株式会社 栗木本社
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