蒸着装置 - 企業ランキング(全41社)
更新日: 集計期間:2026年08月12日〜2026年09月08日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】 ◉ 製作範囲 抵抗加熱蒸着(TE)、有機膜蒸着(LTE)、電子ビーム蒸着(EB)、RF/DCスパッタリング(SP)、プラズマエッチング(RIE) ◉ チャンバー ・026(26Litter)-TE/LTE/SP/CVD... | 主な用途 ・新素材/新材料の開発 ・先端技術開発 ・小規模試作生産 など | ||
| 【主仕様】 ・最大基板サイズ:Φ11inch ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4元(Model. TE... | 大学・研究期間・企業研究室での各種基礎実験用途 ・光学薄膜 ・電極膜, 半導体膜, 配線膜, 絶縁膜 他 | ||
| 【装置構成事例】 *Chamber-1. MiniLab-E080A(蒸着装置) ・EB蒸着:7ccるつぼ x 6 ・抵抗加熱蒸着元 x 2 ・有機蒸着元 x 2 *Chamber-2. MiniLab-S070A(スパッタリング装置) ・Φ2"マグネトロンカソード x 4元同時... | 電子デバイス・燃料電池・ディスプレイ等の製造工場、大学・研究機関、薬品・化学工場、食品工場、他多数 | ||
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- 代表製品
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真空蒸着装置『MiniLab(ミニラボ)シリーズ』
- 概要
- 【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】 ◉ 製作範囲 抵抗加熱蒸着(TE)、有機膜蒸着(LTE)、電子ビーム蒸着(EB)、RF/DCスパッタリング(SP)、プラズマエッチング(RIE) ◉ チャンバー ・026(26Litter)-TE/LTE/SP/CVD...
- 用途/実績例
- 主な用途 ・新素材/新材料の開発 ・先端技術開発 ・小規模試作生産 など
真空蒸着装置『MiniLab-090』(グローブボックス用)
- 概要
- 【主仕様】 ・最大基板サイズ:Φ11inch ・SUS304 80ℓ容積 400x400x570mm フロントローディングチャンバー ・ポンプ:ターボ分子ポンプ, ロータリーポンプ(ドライポンプも可) ・真空排気:真空/ベント自動制御 ・抵抗加熱蒸着:最大4元(Model. TE...
- 用途/実績例
- 大学・研究期間・企業研究室での各種基礎実験用途 ・光学薄膜 ・電極膜, 半導体膜, 配線膜, 絶縁膜 他
スパッタ/EB複合蒸着 デュアルチャンバー装置
- 概要
- 【装置構成事例】 *Chamber-1. MiniLab-E080A(蒸着装置) ・EB蒸着:7ccるつぼ x 6 ・抵抗加熱蒸着元 x 2 ・有機蒸着元 x 2 *Chamber-2. MiniLab-S070A(スパッタリング装置) ・Φ2"マグネトロンカソード x 4元同時...
- 用途/実績例
- 電子デバイス・燃料電池・ディスプレイ等の製造工場、大学・研究機関、薬品・化学工場、食品工場、他多数
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