除害装置 - 企業ランキング(全6社)
更新日： 集計期間:2025年09月10日〜2025年10月07日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
乾式除害装置(MAKシリーズ)
応相談 |
【幅広い対応範囲】 各種処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに 最も適した処理剤の選定ができます。 また、弊社横浜研究所の現地分析により、 フィールドでの排気分析結果に基づいた処理剤設計も可能です。 【低圧損】 圧力損失の少ない処理剤充... | 下記装置及びガス種に対応します。 Ionインプラ装置： AsH3、PH3、BF3 CVD装置： NH3、TiCl4 、SiH2Cl2、WF6、SiF4、HCl、HF、F2 、TEOS、CO 、SiH4、PH3、AsH3、B2H6 Etching装置：BCl3、HCl... | |
緊急除害装置(S-CDシリーズ)
応相談 |
下記装置及びガス種に対応します。（特殊高圧ガス） SiH4,B2H6,AsH3,PH3,Si2H6,GeH4,H2Se | ||
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株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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- 代表製品
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乾式除害装置(MAKシリーズ)
- 概要
- 【幅広い対応範囲】 各種処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに 最も適した処理剤の選定ができます。 また、弊社横浜研究所の現地分析により、 フィールドでの排気分析結果に基づいた処理剤設計も可能です。 【低圧損】 圧力損失の少ない処理剤充...
- 用途/実績例
- 下記装置及びガス種に対応します。 Ionインプラ装置： AsH3、PH3、BF3 CVD装置： NH3、TiCl4 、SiH2Cl2、WF6、SiF4、HCl、HF、F2 、TEOS、CO 、SiH4、PH3、AsH3、B2H6 Etching装置：BCl3、HCl...
緊急除害装置(S-CDシリーズ)
- 概要
- 用途/実績例
- 下記装置及びガス種に対応します。（特殊高圧ガス） SiH4,B2H6,AsH3,PH3,Si2H6,GeH4,H2Se
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株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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