除害装置 - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年04月02日〜2025年04月29日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
乾式除害装置(MAKシリーズ)
応相談 |
【幅広い対応範囲】 各種処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに 最も適した処理剤の選定ができます。 また、弊社横浜研究所の現地分析により、 フィールドでの排気分析結果に基づいた処理剤設計も可能です。 【低圧損】 圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、 装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。 これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減します。 【管理性】 剤破過検知器（ブレイクモニター）のサンプリング位置を 自動切換することにより、剤交換時期を正確に管理することができます。 【安全性】 ・排気ガス部材質は、処理対象ガス及び反応温度を考慮した材質を使用。 ・固定生成物が排気ガス中に混在している場合も、バグフィルターで除去が可能です。 ・排気ガス処理ラインにはフルボアタイプのバルブを使用し、装置内での 閉塞が起こりにくい構造となっています。 ・処理剤破過検知のほかに、装置内圧力・処理剤温度等を 常時モニタリングし、異常発生時に警報を発報します。（一部オプション） | 下記装置及びガス種に対応します。 Ionインプラ装置： AsH3、PH3、BF3 CVD装置： NH3、TiCl4 、SiH2Cl2、WF6、SiF4、HCl、HF、F2 、TEOS、CO 、SiH4、PH3、AsH3、B2H6 Etching装置：BCl3、HCl、HBr、F2、SiF4、WF6 、Cl2、BCl3、HBr チャンバークリーニング： HF、F2、SiF4、COF2、OF2 | |
緊急除害装置(S-CDシリーズ)
応相談 |
下記装置及びガス種に対応します。（特殊高圧ガス） SiH4,B2H6,AsH3,PH3,Si2H6,GeH4,H2Se | ||
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株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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- 代表製品
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乾式除害装置(MAKシリーズ)
- 概要
- 【幅広い対応範囲】 各種処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに 最も適した処理剤の選定ができます。 また、弊社横浜研究所の現地分析により、 フィールドでの排気分析結果に基づいた処理剤設計も可能です。 【低圧損】 圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、 装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。 これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコストを低減します。 【管理性】 剤破過検知器（ブレイクモニター）のサンプリング位置を 自動切換することにより、剤交換時期を正確に管理することができます。 【安全性】 ・排気ガス部材質は、処理対象ガス及び反応温度を考慮した材質を使用。 ・固定生成物が排気ガス中に混在している場合も、バグフィルターで除去が可能です。 ・排気ガス処理ラインにはフルボアタイプのバルブを使用し、装置内での 閉塞が起こりにくい構造となっています。 ・処理剤破過検知のほかに、装置内圧力・処理剤温度等を 常時モニタリングし、異常発生時に警報を発報します。（一部オプション）
- 用途/実績例
- 下記装置及びガス種に対応します。 Ionインプラ装置： AsH3、PH3、BF3 CVD装置： NH3、TiCl4 、SiH2Cl2、WF6、SiF4、HCl、HF、F2 、TEOS、CO 、SiH4、PH3、AsH3、B2H6 Etching装置：BCl3、HCl、HBr、F2、SiF4、WF6 、Cl2、BCl3、HBr チャンバークリーニング： HF、F2、SiF4、COF2、OF2
緊急除害装置(S-CDシリーズ)
- 概要
- 用途/実績例
- 下記装置及びガス種に対応します。（特殊高圧ガス） SiH4,B2H6,AsH3,PH3,Si2H6,GeH4,H2Se
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株式会社巴商会 管理部署：企画営業部
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