除害装置 - 企業ランキング(全6社)
更新日: 集計期間:2026年06月10日〜2026年07月07日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
乾式除害装置(MAKシリーズ)
応相談 |
【幅広い対応範囲】 ・様々な種類の処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに最も適した処理剤の選定ができます。 【低圧損】 ・圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。 これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコ... | 下記装置及びガス種に対応いたします。 ・CVD:SiH4、PH3、B2H6、SiH2Cl2、TEOS、HCl、NH3 ・ALD:TMAl、TEMAHf、TEMAZr、TiCl4、TDMATi、DEZn、O3、NH3 ・Etching:F2、HF、SiF4、Cl2、BCl3、HB... | |
緊急除害装置(S-CDシリーズ)
応相談 |
下記装置及びガス種に対応します。(特殊高圧ガス) SiH4,B2H6,AsH3,PH3,Si2H6,GeH4,H2Se | ||
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- 代表製品
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乾式除害装置(MAKシリーズ)
- 概要
- 【幅広い対応範囲】 ・様々な種類の処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに最も適した処理剤の選定ができます。 【低圧損】 ・圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。 これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコ...
- 用途/実績例
- 下記装置及びガス種に対応いたします。 ・CVD:SiH4、PH3、B2H6、SiH2Cl2、TEOS、HCl、NH3 ・ALD:TMAl、TEMAHf、TEMAZr、TiCl4、TDMATi、DEZn、O3、NH3 ・Etching:F2、HF、SiF4、Cl2、BCl3、HB...
緊急除害装置(S-CDシリーズ)
- 概要
- 用途/実績例
- 下記装置及びガス種に対応します。(特殊高圧ガス) SiH4,B2H6,AsH3,PH3,Si2H6,GeH4,H2Se
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株式会社巴商会 管理部署:企画営業部