除害装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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除害装置 - 企業ランキング(全6社)

更新日: 集計期間:2026年06月10日〜2026年07月07日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【幅広い対応範囲】  ・様々な種類の処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに最も適した処理剤の選定ができます。 【低圧損】  ・圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。   これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコ... 下記装置及びガス種に対応いたします。 ・CVD:SiH4、PH3、B2H6、SiH2Cl2、TEOS、HCl、NH3 ・ALD:TMAl、TEMAHf、TEMAZr、TiCl4、TDMATi、DEZn、O3、NH3 ・Etching:F2、HF、SiF4、Cl2、BCl3、HB...
下記装置及びガス種に対応します。(特殊高圧ガス) SiH4,B2H6,AsH3,PH3,Si2H6,GeH4,H2Se
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  1. 代表製品
    乾式除害装置(MAKシリーズ)乾式除害装置(MAKシリーズ)
    概要
    【幅広い対応範囲】  ・様々な種類の処理剤がラインナップされており、各種プロセスの排気ガスに最も適した処理剤の選定ができます。 【低圧損】  ・圧力損失の少ない処理剤充填方法を採用し、装置内の圧力損失を0.1KPa以内に制御。   これにより専用排気ブロワーを不要化、ランニングコ...
    用途/実績例
    下記装置及びガス種に対応いたします。 ・CVD:SiH4、PH3、B2H6、SiH2Cl2、TEOS、HCl、NH3 ・ALD:TMAl、TEMAHf、TEMAZr、TiCl4、TDMATi、DEZn、O3、NH3 ・Etching:F2、HF、SiF4、Cl2、BCl3、HB...
    緊急除害装置(S-CDシリーズ)緊急除害装置(S-CDシリーズ)
    概要
    用途/実績例
    下記装置及びガス種に対応します。(特殊高圧ガス) SiH4,B2H6,AsH3,PH3,Si2H6,GeH4,H2Se