露光装置のメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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露光装置 - 企業ランキング(全35社)

更新日: 集計期間:2026年08月12日〜2026年09月08日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【主な特徴】 ○g/h/i/248mm及びブロード光対応 ○露光エリア□10mm/25ショット         □5mm/100ショット ○レジスト透過率測定機能搭載 ○アウトガス捕集、自動搬送 【その他の特徴】 ○UVES-2000(g/h/i/248nmおよ...
【主な特徴】 ○g/h/i/248mm及びブロード光対応 ○露光エリア□10mm/25ショット         □5mm/100ショット ○レジスト透過率測定機能搭載 ○アウトガス捕集、自動搬送 【その他の特徴】 ○ウシオ電機社製エキシマランプを搭載した装置。 ...
【主な特徴】 ●Energetiq Technology社製EQ-10 EUV Sourceを搭載 ●EUV(13.5nm)露光が可能
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  1. 代表製品
    フォトプロセス解析露光装置 UVESシリーズフォトプロセス解析露光装置 UVESシリーズ
    概要
    【主な特徴】 ○g/h/i/248mm及びブロード光対応 ○露光エリア□10mm/25ショット         □5mm/100ショット ○レジスト透過率測定機能搭載 ○アウトガス捕集、自動搬送 【その他の特徴】 ○UVES-2000(g/h/i/248nmおよ...
    用途/実績例
    フォトプロセス解析露光装置 ES-3500LPフォトプロセス解析露光装置 ES-3500LP
    概要
    【主な特徴】 ○g/h/i/248mm及びブロード光対応 ○露光エリア□10mm/25ショット         □5mm/100ショット ○レジスト透過率測定機能搭載 ○アウトガス捕集、自動搬送 【その他の特徴】 ○ウシオ電機社製エキシマランプを搭載した装置。 ...
    用途/実績例
    レジスト解析用EUV露光装置 EUVES-7000レジスト解析用EUV露光装置 EUVES-7000
    概要
    【主な特徴】 ●Energetiq Technology社製EQ-10 EUV Sourceを搭載 ●EUV(13.5nm)露光が可能
    用途/実績例