ガスフィルタ - 企業ランキング(全6社)
更新日: 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
クアーズテック株式会社は、1988年CEPUREインライン・ガスフィルターの販売開始以来、一貫して半導体製造装置用ガスラインの高純度化、高清浄化に取り組んできました。 第一世代としては六角マルチチャンネルタイプのエレメントを採用した「Mシリーズ」を、そして1992年には第二世代として除粒子性能を維持しつつ、ガス置換特性を向上させた「TMシリーズ」を市場に送りだしました。 現在、CEPUREシリーズは、より高いガス置換特性を追及し、かつ一段とコンパクト化を図った第三世代の「STMシリーズ」に進化しており、ユーザーの皆様から高い評価を得ています。 また、近年、半導体製造装置業界で主流となりつつある集積型ガスパネルに対応すると同時に、多様化するユーザーニーズに対応すべく、各種フィルター応用製品の開発を進めています。 | 【用途】 各種半導体プロセス用インラインガスフィルター | ||
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- 代表製品
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インライン・ガスフィルター CEPURE「より高いガス置換特性」
- 概要
- クアーズテック株式会社は、1988年CEPUREインライン・ガスフィルターの販売開始以来、一貫して半導体製造装置用ガスラインの高純度化、高清浄化に取り組んできました。 第一世代としては六角マルチチャンネルタイプのエレメントを採用した「Mシリーズ」を、そして1992年には第二世代として除粒子性能を維持しつつ、ガス置換特性を向上させた「TMシリーズ」を市場に送りだしました。 現在、CEPUREシリーズは、より高いガス置換特性を追及し、かつ一段とコンパクト化を図った第三世代の「STMシリーズ」に進化しており、ユーザーの皆様から高い評価を得ています。 また、近年、半導体製造装置業界で主流となりつつある集積型ガスパネルに対応すると同時に、多様化するユーザーニーズに対応すべく、各種フィルター応用製品の開発を進めています。
- 用途/実績例
- 【用途】 各種半導体プロセス用インラインガスフィルター
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