分子ポンプ - 企業ランキング(全8社)
更新日： 集計期間:2026年03月25日〜2026年04月21日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧... | 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置 | ||
| 【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） | |||
| 【その他の特長】 ■多様な通信仕様：Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT ■国際規格適合：NRTL/SEMI-S2/CE | 【用途】 ・半導体製造装置 ・FPD製造装置 ・太陽電池製造装置 ・ガラス/レンズ等の光学部品加工 ・フィルム加工 ・加速器/宇宙環境試験装置 | ||
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株式会社大阪真空機器製作所
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- 代表製品
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コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
- 概要
- 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧...
- 用途/実績例
- 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置
グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ：TG350F
- 概要
- 【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE）
- 用途/実績例
新型磁気軸受形ターボ分子ポンプ『TG397M～1307M』
- 概要
- 【その他の特長】 ■多様な通信仕様：Parallel I/O・RS232C・RS485・Profibus・DeviceNet・EtherCAT ■国際規格適合：NRTL/SEMI-S2/CE
- 用途/実績例
- 【用途】 ・半導体製造装置 ・FPD製造装置 ・太陽電池製造装置 ・ガラス/レンズ等の光学部品加工 ・フィルム加工 ・加速器/宇宙環境試験装置
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株式会社大阪真空機器製作所
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