分子ポンプ - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年04月02日〜2025年04月29日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる | 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置 | ||
| 【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 | |||
| 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる | 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置 | ||
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株式会社大阪真空機器製作所
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- 代表製品
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コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
- 概要
- 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる
- 用途/実績例
- 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置
姿勢自在型複合分子ポンプ TG50F
- 概要
- 【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能
- 用途/実績例
電源ユニット・ポンプ一体型ターボ分子ポンプ
- 概要
- 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧力調整バルブが不要 ○コントローラと電源ユニットを一体化したコンパクトな設計 ○出力ケーブルや別置きコントローラが無い →ケーブルダクトやコントローララックが不要 ○面倒なケーブル引き回し作業が無くなり、設置が簡単 ○装置設計が自由になり、コストダウンに貢献 ○省スペース化、アクセス性の向上 →各種アクセス部（スイッチ、LED、ケーブル／配管接続部など）を 前面に集約し、作業効率改善 ○横、後ろの周囲スペースが削減でき、装置のコンパクト化に貢献 ○メンテナンス時のアクセスも容易 ○IP54（防塵・防滴）標準対応で、厳しい環境下でも使用できる
- 用途/実績例
- 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置
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株式会社大阪真空機器製作所
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