軸ロボットのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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軸ロボット - 企業ランキング(全37社)

更新日: 集計期間:2026年03月25日〜2026年04月21日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ:Φ500mm 透過穴:Φ250mm 耐荷重:300kgf(均等荷重時) モータ型式:PK513-H100S(オリエンタルモーター) 駆動ユニット分解能:0.02μm 軸方向最大ストローク※:X軸±... 【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ(成膜) ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
【その他の特長】 ■構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、  大口径の透過穴を設けることが可能 ■駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、  形状を自由に設計できる ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加の... 【用途】 ■ウェハ接合装置 ■露光装置 ■各種基板の通電検査装置 ■サブミクロンの各種アライメント
高荷重ゴニオメータ
高荷重ゴニオメータ

100万円 ~ 500万円

【仕様】 <スイベルステージ> ■テーブル面:160mm×160mm ■案内方式:アリ摺動 ■移動範囲:±5° ■送り方式:ウォーム&ウォームホイール ■最少読取:1°/ツマミ1回転(1'/1目盛) ■材質:真鍮、ステンレス ■耐荷重:60kg
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  1. 代表製品
    超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」
    概要
    【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ:Φ500mm 透過穴:Φ250mm 耐荷重:300kgf(均等荷重時) モータ型式:PK513-H100S(オリエンタルモーター) 駆動ユニット分解能:0.02μm 軸方向最大ストローク※:X軸±...
    用途/実績例
    【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ(成膜) ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
    超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』
    概要
    【その他の特長】 ■構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、  大口径の透過穴を設けることが可能 ■駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、  形状を自由に設計できる ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加の...
    用途/実績例
    【用途】 ■ウェハ接合装置 ■露光装置 ■各種基板の通電検査装置 ■サブミクロンの各種アライメント
    高荷重ゴニオメータ高荷重ゴニオメータ
    概要
    【仕様】 <スイベルステージ> ■テーブル面:160mm×160mm ■案内方式:アリ摺動 ■移動範囲:±5° ■送り方式:ウォーム&ウォームホイール ■最少読取:1°/ツマミ1回転(1'/1目盛) ■材質:真鍮、ステンレス ■耐荷重:60kg
    用途/実績例