ドライクリーナ - 企業ランキング(全7社)
更新日： 集計期間:2025年05月28日〜2025年06月24日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○1.6μmの粉塵を100％除去可能 ○ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換不要 ○非接触式のため、ガラス基盤等の表面にスクラッチ、及び成膜への損傷不要 ○クローズドループシステム採用で、クリーンルーム内の層流を乱すことなく使用可能 | |||
| 【特徴】 ○ドライクリーナで3μmの粉塵を100％除去可能 ○エアーバランスがよいのでヘッドを対向させて両面同時クリーニングが可能 ○非接触式 | |||
| 【特徴】 ○両面同時にクリーニングを行えるシステム ○3ミクロンのシリカビーズは100%除去（弊社クリーンルーム内テスト評価） ○クリーナヘッドへの基板の吸い付きを防止するための吸着テーブルが不要 ○装置全体でのコストダウンを実現 ○大幅なタクトタイム向上が可能 | |||
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株式会社伸興
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- 代表製品
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ドライクリーナ UVU-F型フラットパネル用超音波ドライクリーナ
- 概要
- 【特徴】 ○1.6μmの粉塵を100％除去可能 ○ドライ洗浄方式の為、水・薬液の交換不要 ○非接触式のため、ガラス基盤等の表面にスクラッチ、及び成膜への損傷不要 ○クローズドループシステム採用で、クリーンルーム内の層流を乱すことなく使用可能
- 用途/実績例
パネルクリーナ VUV-F型フラットパネル型ドライクリーナ
- 概要
- 【特徴】 ○ドライクリーナで3μmの粉塵を100％除去可能 ○エアーバランスがよいのでヘッドを対向させて両面同時クリーニングが可能 ○非接触式
- 用途/実績例
超音波両面ドライクリーナ VUV-F1&F2型
- 概要
- 【特徴】 ○両面同時にクリーニングを行えるシステム ○3ミクロンのシリカビーズは100%除去（弊社クリーンルーム内テスト評価） ○クリーナヘッドへの基板の吸い付きを防止するための吸着テーブルが不要 ○装置全体でのコストダウンを実現 ○大幅なタクトタイム向上が可能
- 用途/実績例
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株式会社伸興
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