マスク洗浄機 - 企業ランキング(全5社)
更新日: 集計期間:2025年08月20日〜2025年09月16日
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会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【特徴】 ■塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに対応 ■ レジスト残渣/有機物残渣の剥離洗浄 ■ 金属粒子や研磨、ダイシング後などの粒子除去洗浄 ■ 固着微粒子、吸着微粒子の除去洗浄 ■ 受け入れ洗浄、各種工程間の洗浄(成膜前、露光前、剥離後、エッチング後、 バックグラインド後など)パーティクル除去、ファイナル洗浄 ■ 表面改質洗浄 ■ ベベル、端面洗浄など □その他詳細についてはカタログをご覧ください | |||
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- 代表製品
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G8対応 枚葉スピン式 大型マスク洗浄装置 MSC-1500
- 概要
- 【特徴】 ■塗布、現像、エッチング、剥離、洗浄の各プロセスに対応 ■ レジスト残渣/有機物残渣の剥離洗浄 ■ 金属粒子や研磨、ダイシング後などの粒子除去洗浄 ■ 固着微粒子、吸着微粒子の除去洗浄 ■ 受け入れ洗浄、各種工程間の洗浄(成膜前、露光前、剥離後、エッチング後、 バックグラインド後など)パーティクル除去、ファイナル洗浄 ■ 表面改質洗浄 ■ ベベル、端面洗浄など □その他詳細についてはカタログをご覧ください
- 用途/実績例
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