精密ステージ - 企業ランキング(全8社)
更新日： 集計期間:2025年04月16日〜2025年05月13日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
超精密ステージ
応相談 |
◆非接触＆超精密加工で高い真直度・位置決め／繰り返し精度を実現！ 非接触のエアスライドを使用することでダストが発生することもなく、メンテナンスフリーでご使用いただけます。 また、超高精度に製作されたファインセラミックス製のガイドを使用し、精密恒温環境で組立・調整を行うことで、ナノメートルオーダーの位置決め／繰り返し精度と極めて高い運動精度を実現しています（※）。 （※）位置決め精度／繰り返し精度はステージの構成やご使用環境によります。ご希望の精度を実現するためのご提案を行いますので、まずはお気軽にご相談ください。 | ◆用途 露光装置などの半導体製造装置 半導体検査装置 光学モジュールや半導体組立装置 精密計測器 ◆製作実績-1 (添付画像参照) ステージ形式 セラミックス製XYZ 3軸積み重ね 駆動方式 粗動：ボールねじ 微動：PZT（ピエゾ） エンコーダ 光学式リニアエンコーダ ストローク X,Y: 10mm Z: 5mm 繰返し精度 X, Y, Z: ±0.01µm以下 ◆製作実績-2 (添付画像参照) ステージ形式 セラミックス製XYZθ エアスライドステージ エンコーダ X, Y: レーザ干渉計 Z, θ: 光学式リニアエンコーダ ストローク X, Y: 300mm Z: 7mm 位置決め精度 X, Y: ±1.0µm/300mm 繰り返し精度 X, Y: ±0.1µm 真直度 X, Y: ±0.2µm以下/300mm 直交度 X, Y: ±0.5µm以下/300mm | |
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株式会社ピーエムティー 本社・工場
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- 代表製品
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超精密ステージ
- 概要
- ◆非接触＆超精密加工で高い真直度・位置決め／繰り返し精度を実現！ 非接触のエアスライドを使用することでダストが発生することもなく、メンテナンスフリーでご使用いただけます。 また、超高精度に製作されたファインセラミックス製のガイドを使用し、精密恒温環境で組立・調整を行うことで、ナノメートルオーダーの位置決め／繰り返し精度と極めて高い運動精度を実現しています（※）。 （※）位置決め精度／繰り返し精度はステージの構成やご使用環境によります。ご希望の精度を実現するためのご提案を行いますので、まずはお気軽にご相談ください。
- 用途/実績例
- ◆用途 露光装置などの半導体製造装置 半導体検査装置 光学モジュールや半導体組立装置 精密計測器 ◆製作実績-1 (添付画像参照) ステージ形式 セラミックス製XYZ 3軸積み重ね 駆動方式 粗動：ボールねじ 微動：PZT（ピエゾ） エンコーダ 光学式リニアエンコーダ ストローク X,Y: 10mm Z: 5mm 繰返し精度 X, Y, Z: ±0.01µm以下 ◆製作実績-2 (添付画像参照) ステージ形式 セラミックス製XYZθ エアスライドステージ エンコーダ X, Y: レーザ干渉計 Z, θ: 光学式リニアエンコーダ ストローク X, Y: 300mm Z: 7mm 位置決め精度 X, Y: ±1.0µm/300mm 繰り返し精度 X, Y: ±0.1µm 真直度 X, Y: ±0.2µm以下/300mm 直交度 X, Y: ±0.5µm以下/300mm
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株式会社ピーエムティー 本社・工場
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