アライメントステージ - 企業ランキング(全6社)

更新日：2026年03月25日集計期間:2026年02月25日〜2026年03月24日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
神津精機株式会社	所在地神奈川県事業内容 ■汎用位置決めステージ、■真空位置決めステージ、■アライメントステージ、■各種制御機器、開発・設計・製造・販売主要取引先	超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」 100万円 ~ 500万円	【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ：Φ500mm 透過穴：Φ250mm 耐荷重：300kgf（均等荷重時）モータ型式：PK513-H100S（オリエンタルモーター）駆動ユニット分解能：0.02μm 軸方向最大ストローク※：X軸±...	【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ（成膜） ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
		超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』 100万円 ~ 500万円	【その他の特長】 ■構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、　大口径の透過穴を設けることが可能 ■駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、　形状を自由に設計できる ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加の...	【用途】 ■ウェハ接合装置 ■露光装置 ■各種基板の通電検査装置 ■サブミクロンの各種アライメント
		半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ 100万円 ~ 500万円	【仕様】 ■RSTA-005 　・テーブルサイズ：φ400mm（透過穴：φ230mm）　・移動範囲XY・θ：±3mm・2° 　※テーブルサイズや透過穴は一例の為、自在に変更可能 ■YRA-070 　・テーブルサイズ：70mm×70mm 　・移動範囲XY・θ：±3m...	【用途】 ■RSTアライナー・ウエハ接合装置・露光装置・各種基板の通電検査装置・サブミクロンの各種アライメント ■YRAシリーズ・小型デバイスの組み立て・中小型液晶やウエハの貼り合わせ
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神津精機株式会社

所在地

神奈川県

事業内容

■汎用位置決めステージ、■真空位置決めステージ、■アライメントステージ、■各種制御機器、開発・設計・製造・販売

主要取引先

代表製品

超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」

概要

【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ：Φ500mm 透過穴：Φ250mm 耐荷重：300kgf（均等荷重時）モータ型式：PK513-H100S（オリエンタルモーター）駆動ユニット分解能：0.02μm 軸方向最大ストローク※：X軸±...

用途/実績例

【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ（成膜） ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス

超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』

概要

【その他の特長】 ■構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、　大口径の透過穴を設けることが可能 ■駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、　形状を自由に設計できる ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加の...

用途/実績例

【用途】 ■ウェハ接合装置 ■露光装置 ■各種基板の通電検査装置 ■サブミクロンの各種アライメント

半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

概要

【仕様】 ■RSTA-005 　・テーブルサイズ：φ400mm（透過穴：φ230mm）　・移動範囲XY・θ：±3mm・2° 　※テーブルサイズや透過穴は一例の為、自在に変更可能 ■YRA-070 　・テーブルサイズ：70mm×70mm 　・移動範囲XY・θ：±3m...

用途/実績例

【用途】 ■RSTアライナー・ウエハ接合装置・露光装置・各種基板の通電検査装置・サブミクロンの各種アライメント ■YRAシリーズ・小型デバイスの組み立て・中小型液晶やウエハの貼り合わせ
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事業内容

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