アライメントステージ - 企業ランキング(全6社)
              更新日: 集計期間:2025年10月01日〜2025年10月28日
              ※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
            
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            | 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
                           
                              超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」 
                            
                            100万円 ~ 500万円  | 
                        【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ:Φ500mm 透過穴:Φ250mm 耐荷重:300kgf(均等荷重時) モータ型式:PK513-H100S(オリエンタルモーター) 駆動ユニット分解能:0.02μm 軸方向最大ストローク※:X軸±... | 【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ(成膜) ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス | |
                           
                              超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』 
                            
                            100万円 ~ 500万円  | 
                        【その他の特長】 ■構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、 大口径の透過穴を設けることが可能 ■駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、 形状を自由に設計できる ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加の... | 【用途】 ■ウェハ接合装置 ■露光装置 ■各種基板の通電検査装置 ■サブミクロンの各種アライメント | |
                           
                              半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ 
                            
                            100万円 ~ 500万円  | 
                        【仕様】 ■RSTA-005 ・テーブルサイズ:φ400mm(透過穴:φ230mm) ・移動範囲XY・θ:±3mm・2° ※テーブルサイズや透過穴は一例の為、自在に変更可能 ■YRA-070 ・テーブルサイズ:70mm×70mm ・移動範囲XY・θ:±3m... | 【用途】 ■RSTアライナー ・ウエハ接合装置 ・露光装置 ・各種基板の通電検査装置 ・サブミクロンの各種アライメント ■YRAシリーズ ・小型デバイスの組み立て ・中小型液晶やウエハの貼り合わせ | |
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- 代表製品
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超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」
                          
                            
                          
                        - 概要
 - 【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ:Φ500mm 透過穴:Φ250mm 耐荷重:300kgf(均等荷重時) モータ型式:PK513-H100S(オリエンタルモーター) 駆動ユニット分解能:0.02μm 軸方向最大ストローク※:X軸±...
 - 用途/実績例
 - 【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ(成膜) ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
 
超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』
                          
                            
                          
                        - 概要
 - 【その他の特長】 ■構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、 大口径の透過穴を設けることが可能 ■駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、 形状を自由に設計できる ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加の...
 - 用途/実績例
 - 【用途】 ■ウェハ接合装置 ■露光装置 ■各種基板の通電検査装置 ■サブミクロンの各種アライメント
 
半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ
                          
                            
                          
                        - 概要
 - 【仕様】 ■RSTA-005 ・テーブルサイズ:φ400mm(透過穴:φ230mm) ・移動範囲XY・θ:±3mm・2° ※テーブルサイズや透過穴は一例の為、自在に変更可能 ■YRA-070 ・テーブルサイズ:70mm×70mm ・移動範囲XY・θ:±3m...
 - 用途/実績例
 - 【用途】 ■RSTアライナー ・ウエハ接合装置 ・露光装置 ・各種基板の通電検査装置 ・サブミクロンの各種アライメント ■YRAシリーズ ・小型デバイスの組み立て ・中小型液晶やウエハの貼り合わせ
 
 
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