アライメントステージのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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アライメントステージ - 企業ランキング(全6社)

更新日： 集計期間:2025年08月20日〜2025年09月16日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
神津精機株式会社 神津精機株式会社
超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」
超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」

100万円 ~ 500万円

 【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ：Φ500mm 透過穴：Φ250mm 耐荷重：300kgf（均等荷重時） モータ型式：PK513-H100S（オリエンタルモーター） 駆動ユニット分解能：0.02μm 軸方向最大ストローク※：X軸±15mm、Y軸±17.5mm、Z軸±7.5mm 　θz軸±4.7°、θx軸±2.3°、θy軸±2.7° ■RSTZ-004 テーブルサイズ：Φ350mm 透過穴：Φ140mm 耐荷重：120kgf（均等荷重時） モータ型式： PK513-H100S（オリエンタルモーター） 駆動ユニット分解能：0.02μm 軸方向最大ストローク※：X軸±9mm、Y軸±10.3mm、Z軸±4.5mm θz軸±4.3°、θx軸±2.1°、θy軸±2.4° ※複数軸方向に移動させる際は上記ストロークより範囲がせまくなります。 　　 【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ（成膜） ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
XYθ薄型アライメントステージシリーズ
XYθ薄型アライメントステージシリーズ

100万円 ~ 500万円

 【仕様】 ■YRA-070 　・テーブルサイズ：70mm×70mm 　・移動範囲XY・θ：±3mm・±3° ■YRA-071 　・テーブルサイズ：70mm×70mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5° ■YRA-131 　・テーブルサイズ：130mm×130mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5° ■YRA-200 　・テーブルサイズ：210mm×150mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5°
半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ
半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ

100万円 ~ 500万円

 【仕様】 ■RSTA-005 　・テーブルサイズ：φ400mm（透過穴：φ230mm） 　・移動範囲XY・θ：±3mm・2° 　※テーブルサイズや透過穴は一例の為、自在に変更可能 ■YRA-070 　・テーブルサイズ：70mm×70mm 　・移動範囲XY・θ：±3mm・±3° ■YRA-071 　・テーブルサイズ：70mm×70mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5° ■YRA-131 　・テーブルサイズ：130mm×130mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5° ■YRA-200 　・テーブルサイズ：210mm×150mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5° 【用途】 ■RSTアライナー ・ウエハ接合装置 ・露光装置 ・各種基板の通電検査装置 ・サブミクロンの各種アライメント ■YRAシリーズ ・小型デバイスの組み立て ・中小型液晶やウエハの貼り合わせ
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  1. 神津精機株式会社 神津精機株式会社
    代表製品
    超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」
    概要
    【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ：Φ500mm 透過穴：Φ250mm 耐荷重：300kgf（均等荷重時） モータ型式：PK513-H100S（オリエンタルモーター） 駆動ユニット分解能：0.02μm 軸方向最大ストローク※：X軸±15mm、Y軸±17.5mm、Z軸±7.5mm 　θz軸±4.7°、θx軸±2.3°、θy軸±2.7° ■RSTZ-004 テーブルサイズ：Φ350mm 透過穴：Φ140mm 耐荷重：120kgf（均等荷重時） モータ型式： PK513-H100S（オリエンタルモーター） 駆動ユニット分解能：0.02μm 軸方向最大ストローク※：X軸±9mm、Y軸±10.3mm、Z軸±4.5mm θz軸±4.3°、θx軸±2.1°、θy軸±2.4° ※複数軸方向に移動させる際は上記ストロークより範囲がせまくなります。 　　
    用途/実績例
    【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ（成膜） ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
    XYθ薄型アライメントステージシリーズXYθ薄型アライメントステージシリーズ
    概要
    【仕様】 ■YRA-070 　・テーブルサイズ：70mm×70mm 　・移動範囲XY・θ：±3mm・±3° ■YRA-071 　・テーブルサイズ：70mm×70mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5° ■YRA-131 　・テーブルサイズ：130mm×130mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5° ■YRA-200 　・テーブルサイズ：210mm×150mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5°
    用途/実績例
    半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ
    概要
    【仕様】 ■RSTA-005 　・テーブルサイズ：φ400mm（透過穴：φ230mm） 　・移動範囲XY・θ：±3mm・2° 　※テーブルサイズや透過穴は一例の為、自在に変更可能 ■YRA-070 　・テーブルサイズ：70mm×70mm 　・移動範囲XY・θ：±3mm・±3° ■YRA-071 　・テーブルサイズ：70mm×70mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5° ■YRA-131 　・テーブルサイズ：130mm×130mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5° ■YRA-200 　・テーブルサイズ：210mm×150mm 　・移動範囲XY・θ：±5mm・±5°
    用途/実績例
    【用途】 ■RSTアライナー ・ウエハ接合装置 ・露光装置 ・各種基板の通電検査装置 ・サブミクロンの各種アライメント ■YRAシリーズ ・小型デバイスの組み立て ・中小型液晶やウエハの貼り合わせ
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