アライメントステージのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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アライメントステージ - 企業ランキング(全6社)

更新日: 集計期間:2025年10月01日〜2025年10月28日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ:Φ500mm 透過穴:Φ250mm 耐荷重:300kgf(均等荷重時) モータ型式:PK513-H100S(オリエンタルモーター) 駆動ユニット分解能:0.02μm 軸方向最大ストローク※:X軸±... 【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ(成膜) ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
【その他の特長】 ■構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、  大口径の透過穴を設けることが可能 ■駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、  形状を自由に設計できる ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加の... 【用途】 ■ウェハ接合装置 ■露光装置 ■各種基板の通電検査装置 ■サブミクロンの各種アライメント
【仕様】 ■RSTA-005  ・テーブルサイズ:φ400mm(透過穴:φ230mm)  ・移動範囲XY・θ:±3mm・2°  ※テーブルサイズや透過穴は一例の為、自在に変更可能 ■YRA-070  ・テーブルサイズ:70mm×70mm  ・移動範囲XY・θ:±3m... 【用途】 ■RSTアライナー ・ウエハ接合装置 ・露光装置 ・各種基板の通電検査装置 ・サブミクロンの各種アライメント ■YRAシリーズ ・小型デバイスの組み立て ・中小型液晶やウエハの貼り合わせ
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  1. 代表製品
    超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」超高精度6軸アライメントステージ「RSTZシリーズ」
    概要
    【仕様】 ■RSTZ-003 テーブルサイズ:Φ500mm 透過穴:Φ250mm 耐荷重:300kgf(均等荷重時) モータ型式:PK513-H100S(オリエンタルモーター) 駆動ユニット分解能:0.02μm 軸方向最大ストローク※:X軸±...
    用途/実績例
    【用途例】 ■ウェハの貼り合わせ ■マイクロLEDレーザー転写 ■ナノインプリント ■スパッタ(成膜) ■露光 ■プリンテッドエレクトロニクス
    超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』超高精度アライメントステージ『RSTアライナー』
    概要
    【その他の特長】 ■構造上、透過穴サイズに制約をもたらすベアリングを使用していない為、  大口径の透過穴を設けることが可能 ■駆動部をユニット化したことにより、搭載ワークに応じて、テーブルサイズ、  形状を自由に設計できる ■貼り合わせ用途などで必要とされるZ機構追加の...
    用途/実績例
    【用途】 ■ウェハ接合装置 ■露光装置 ■各種基板の通電検査装置 ■サブミクロンの各種アライメント
    半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ半導体製造装置・検査装置に好適なアライメントステージ
    概要
    【仕様】 ■RSTA-005  ・テーブルサイズ:φ400mm(透過穴:φ230mm)  ・移動範囲XY・θ:±3mm・2°  ※テーブルサイズや透過穴は一例の為、自在に変更可能 ■YRA-070  ・テーブルサイズ:70mm×70mm  ・移動範囲XY・θ:±3m...
    用途/実績例
    【用途】 ■RSTアライナー ・ウエハ接合装置 ・露光装置 ・各種基板の通電検査装置 ・サブミクロンの各種アライメント ■YRAシリーズ ・小型デバイスの組み立て ・中小型液晶やウエハの貼り合わせ