アルミナセラミックス - 企業ランキング(全13社)
更新日: 集計期間:2025年08月27日〜2025年09月23日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
サファイア(アルミナ単結晶)に近い性質を持つ透光性アルミナセラミックスは可視光線のほとんどを拡散透過するためナトリウムランプなどの照明用部材として使用されてきました。クアーズテック社では透光性アルミナセラミックスのもつ純度の高さ、フッ素系ガスに対する優れた耐食性に注目し、半導体装... | 【主な用途】プラズマエッチングプロセス用部材 ・シャワープレート ・サセプター ・インシュレーター ・ノズル ・ベルジャー ・ドーム | ||
ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01%以下と非常に緻密な焼結体です。優れた電気絶縁性、高強度、耐摩耗性などの特性から、各種産業用構造部品として幅広く利用されています。さらに、酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有することから、半導体やFPD製造用部材として... | 【主な用途】 ・エッチング、アッシング装置用部品 ・CVD装置用部品 ・ウェーハ研磨用ラッププレート ・ウェーハ搬送用アーム 各種大型製品や複雑形状品の対応が可能です。 | ||
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- 代表製品
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高純度アルミナセラミックス(SAPPHAL) 過酷な条件に耐える
- 概要
- サファイア(アルミナ単結晶)に近い性質を持つ透光性アルミナセラミックスは可視光線のほとんどを拡散透過するためナトリウムランプなどの照明用部材として使用されてきました。クアーズテック社では透光性アルミナセラミックスのもつ純度の高さ、フッ素系ガスに対する優れた耐食性に注目し、半導体装...
- 用途/実績例
- 【主な用途】プラズマエッチングプロセス用部材 ・シャワープレート ・サセプター ・インシュレーター ・ノズル ・ベルジャー ・ドーム
高純度アルミナセラミックスADS「電気絶縁性、高強度、耐摩耗性」
- 概要
- ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01%以下と非常に緻密な焼結体です。優れた電気絶縁性、高強度、耐摩耗性などの特性から、各種産業用構造部品として幅広く利用されています。さらに、酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有することから、半導体やFPD製造用部材として...
- 用途/実績例
- 【主な用途】 ・エッチング、アッシング装置用部品 ・CVD装置用部品 ・ウェーハ研磨用ラッププレート ・ウェーハ搬送用アーム 各種大型製品や複雑形状品の対応が可能です。
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