ウェハ搬送装置 - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年10月15日〜2025年11月11日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【仕様（抜粋）】 ■操作方法：タッチスクリーンパネル ■クリーン度：Class10 対応 ■規格：CE,SEMI-S2,S8 準拠 ■必要ファシリティ：N2又はAir（0.6-0.7MPa） ■電源：100-200VAC 50-60Hz | 【用途】 ■薄型ウェハー、MEMS ウェハー、化合物半導体ウェハーの搬送 など | ||
Perlast Ｋ１３Ｘ
応相談 |
【特徴】 ○新素材フィラーフリー構造 （パーティクルフリー） ○優れたプラズマ耐性、低エッチングレート ○低熱膨張 ○優れた物理特性 （低摩擦、高強度、高弾性） | ||
| 【取扱い商品】 ○薄型ウェハー、大型ウェハー対応ウェハー目視検査装置 ○The Modular System モジュールシステム ○スキャナー ○プリアライナー ○The Endeffector エンドイフェクターリアライナー ○エンドイフェクター交換ステーション ... | |||
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デリクソンテクノロジージャパン株式会社
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- 代表製品
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薄型ウェハー搬送装置『TWH150/200/300』
- 概要
- 【仕様（抜粋）】 ■操作方法：タッチスクリーンパネル ■クリーン度：Class10 対応 ■規格：CE,SEMI-S2,S8 準拠 ■必要ファシリティ：N2又はAir（0.6-0.7MPa） ■電源：100-200VAC 50-60Hz
- 用途/実績例
- 【用途】 ■薄型ウェハー、MEMS ウェハー、化合物半導体ウェハーの搬送 など
Perlast Ｋ１３Ｘ
- 概要
- 【特徴】 ○新素材フィラーフリー構造 （パーティクルフリー） ○優れたプラズマ耐性、低エッチングレート ○低熱膨張 ○優れた物理特性 （低摩擦、高強度、高弾性）
- 用途/実績例
会社案内 メカトロニック・システムテクニック社
- 概要
- 【取扱い商品】 ○薄型ウェハー、大型ウェハー対応ウェハー目視検査装置 ○The Modular System モジュールシステム ○スキャナー ○プリアライナー ○The Endeffector エンドイフェクターリアライナー ○エンドイフェクター交換ステーション ...
- 用途/実績例
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デリクソンテクノロジージャパン株式会社
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