エッチング装置 - 企業ランキング(全5社)

更新日：2025年04月23日集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
サムコ株式会社	所在地京都府従業員数 170 事業内容半導体等電子部品の製造・販売を行っています。最先端の薄膜形成用プラズマCVD装置やドライエッチング装置、ドライ洗浄装置を製造・販売しており、世界中の生産現場や研究者の皆様へ提供しています。主要取引先大手電子部品メーカー大学・官庁・研究機関	ドライエッチング装置・XeF2エッチング装置応相談	VPE-4Fは、MEMSプロセスにおける自立デバイス形成時の犠牲層（Si）エッチングを主目的とするXeF2エッチング装置です。完全ドライプロセスであるため、ウエットプロセスで問題となるスティクション（張り付き）の発生を抑制することが可能です。また、研究開発用途向けであるため、卓上型で非常にコンパクトな設計になっています。	●MEMSプロセスにおける自立デバイス形成時の犠牲層（Si）エッチング
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