ガスフィルタ - 企業ランキング(全6社)
更新日: 集計期間:2025年07月09日〜2025年08月05日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
![]() 小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」
1万円 ~ 10万円 |
濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジング:SUS316L(電解研磨処理) 内面粗度:Rmax0.5μm以下 フィルターメディア:PTFE サポート:PFA 継手 1/4"、3/8"、1/2"VCR(標準)、Swagelok、その他 | 半導体/PV/FPD製造装置各種ガス供給配管 半導体/PV/FPD製造工場各種ガス供給配管 | |
![]() インラインセラミックガスフィルター
1万円 ~ 10万円 |
製品特徴 ・パーティクル0.003μm以上の高濾過精度 ・推奨流量 10〜200L/min ・エッチングや薄幕形成等に最適な流量・高濾過精度をラインナップ ・メンテナンス・フリーによるコストダウン ・高耐食性 | 半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など | |
![]() 高濾過精度オールメタルガスフィルター
1万円 ~ 10万円 |
【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は15〜250L/min 各種です。 ○設計圧力は17MPa(2,465PSIG)at20℃です。 ○最大許容差圧は15MPa(2,175PSIG)at20℃です。 ○最高許容温度は460℃です。 | 半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など | |
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- 代表製品
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小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」
- 概要
- 濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジング:SUS316L(電解研磨処理) 内面粗度:Rmax0.5μm以下 フィルターメディア:PTFE サポート:PFA 継手 1/4"、3/8"、1/2"VCR(標準)、Swagelok、その他
- 用途/実績例
- 半導体/PV/FPD製造装置各種ガス供給配管 半導体/PV/FPD製造工場各種ガス供給配管
インラインセラミックガスフィルター
- 概要
- 製品特徴 ・パーティクル0.003μm以上の高濾過精度 ・推奨流量 10〜200L/min ・エッチングや薄幕形成等に最適な流量・高濾過精度をラインナップ ・メンテナンス・フリーによるコストダウン ・高耐食性
- 用途/実績例
- 半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
高濾過精度オールメタルガスフィルター
- 概要
- 【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は15〜250L/min 各種です。 ○設計圧力は17MPa(2,465PSIG)at20℃です。 ○最大許容差圧は15MPa(2,175PSIG)at20℃です。 ○最高許容温度は460℃です。
- 用途/実績例
- 半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
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