ガスフィルタのメーカーや取扱い企業、製品情報、参考価格、ランキングをまとめています。
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ガスフィルタ - 企業ランキング(全6社)

更新日: 集計期間:2025年07月09日〜2025年08月05日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。

会社名 代表製品
製品画像・製品名・価格帯 概要 用途/実績例
濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジング:SUS316L(電解研磨処理)  内面粗度:Rmax0.5μm以下 フィルターメディア:PTFE  サポート:PFA 継手 1/4"、3/8"、1/2"VCR(標準)、Swagelok、その他 半導体/PV/FPD製造装置各種ガス供給配管 半導体/PV/FPD製造工場各種ガス供給配管
製品特徴 ・パーティクル0.003μm以上の高濾過精度 ・推奨流量 10〜200L/min ・エッチングや薄幕形成等に最適な流量・高濾過精度をラインナップ ・メンテナンス・フリーによるコストダウン ・高耐食性 半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は15〜250L/min 各種です。 ○設計圧力は17MPa(2,465PSIG)at20℃です。 ○最大許容差圧は15MPa(2,175PSIG)at20℃です。 ○最高許容温度は460℃です。 半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
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  1. 代表製品
    小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」
    概要
    濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジング:SUS316L(電解研磨処理)  内面粗度:Rmax0.5μm以下 フィルターメディア:PTFE  サポート:PFA 継手 1/4"、3/8"、1/2"VCR(標準)、Swagelok、その他
    用途/実績例
    半導体/PV/FPD製造装置各種ガス供給配管 半導体/PV/FPD製造工場各種ガス供給配管
    インラインセラミックガスフィルターインラインセラミックガスフィルター
    概要
    製品特徴 ・パーティクル0.003μm以上の高濾過精度 ・推奨流量 10〜200L/min ・エッチングや薄幕形成等に最適な流量・高濾過精度をラインナップ ・メンテナンス・フリーによるコストダウン ・高耐食性
    用途/実績例
    半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
    高濾過精度オールメタルガスフィルター高濾過精度オールメタルガスフィルター
    概要
    【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は15〜250L/min 各種です。 ○設計圧力は17MPa(2,465PSIG)at20℃です。 ○最大許容差圧は15MPa(2,175PSIG)at20℃です。 ○最高許容温度は460℃です。
    用途/実績例
    半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など