ガスフィルタ - 企業ランキング(全10社)
更新日: 集計期間:2026年02月18日〜2026年03月17日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
|---|---|---|---|
| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」
1万円 ~ 10万円 |
濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジング:SUS316L(電解研磨処理)... | 半導体/PV/FPD製造装置各種ガス供給配管 半導体/PV/FPD製造工場各種ガス供給配管 | |
大流量セラミックガスフィルター
1万円 ~ 10万円 |
【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○使用可能流体はN2、O2、Ar(バルクガス)です。 ○推奨流量は500〜3,000L/min(60〜180m3/Hr)です。 | 半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など | |
高濾過精度低圧力損失PTFEガスフィルター
1万円 ~ 10万円 |
【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は40〜300L/min各種です。 ○最高使用圧力は0.98MPa(142PSIG)at20℃です。 ○最高使用差圧は0.5MPa(72.5PSIG)at20℃です。 ○最高使用温度は120℃です。 | 半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など | |
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- 代表製品
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小型・大流量PTFEガスフィルター「メガフロー」
- 概要
- 濾過精度 0.003μm 常用圧力 1MPa未満 最大許容正差圧 0.7MPa(20℃) 最大許容逆差圧 0.3MPa(20℃) 最高許容温度 120℃(不活性ガス) 外部漏量 2×10-11Pa・m3/sec以下 構成部材 ハウジング:SUS316L(電解研磨処理)...
- 用途/実績例
- 半導体/PV/FPD製造装置各種ガス供給配管 半導体/PV/FPD製造工場各種ガス供給配管
大流量セラミックガスフィルター
- 概要
- 【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○使用可能流体はN2、O2、Ar(バルクガス)です。 ○推奨流量は500〜3,000L/min(60〜180m3/Hr)です。
- 用途/実績例
- 半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
高濾過精度低圧力損失PTFEガスフィルター
- 概要
- 【特徴】 ○濾過精度は0.003μmです。 ○推奨流量は40〜300L/min各種です。 ○最高使用圧力は0.98MPa(142PSIG)at20℃です。 ○最高使用差圧は0.5MPa(72.5PSIG)at20℃です。 ○最高使用温度は120℃です。
- 用途/実績例
- 半導体製造ガスライン、ガスキャビネット、半導体製造装置など
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株式会社ピー・ジェイ