クリーンオーブン - 企業ランキング(全11社)
更新日: 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【仕様(抜粋)】 ■本体寸法(mm):3300(W)×3105(D)×2200(H) (2チャンバー仕様) ■加熱方式:熱風循環方式 ■ヒータ:シーズヒータ ■使用温度範囲:70~450℃ ■均熱長(mm):500 ■ウェーハサイズ(mm) 300 ■処理枚数:50枚/バッチ ■I/Oポート:2または4 | 【用途】 ■(ポリイミド)キュア、脱水 | ||
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- 代表製品
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300mmウエハー対応クリーンオーブン『SO2-12-F』
- 概要
- 【仕様(抜粋)】 ■本体寸法(mm):3300(W)×3105(D)×2200(H) (2チャンバー仕様) ■加熱方式:熱風循環方式 ■ヒータ:シーズヒータ ■使用温度範囲:70~450℃ ■均熱長(mm):500 ■ウェーハサイズ(mm) 300 ■処理枚数:50枚/バッチ ■I/Oポート:2または4
- 用途/実績例
- 【用途】 ■(ポリイミド)キュア、脱水
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