クリーンロボット - 企業ランキング(全6社)
更新日: 集計期間:2026年02月18日〜2026年03月17日
※当サイトの各ページの閲覧回数を元に算出したランキングです。
企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
|---|---|---|---|
| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム... | 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など | ||
| 【特徴】 ○アームバリエーション:160mm ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:... | |||
ジェーイーエル 製品総合カタログ
応相談 |
【掲載内容】 ○3軸円筒座標型クリーンロボット ○4軸円筒座標型クリーンロボット ○3軸円筒座標型クリーンロボット(小径ウエハ用) ○2軸円筒座標型クリーンロボット(小径ウエハ用) ○3軸円筒座標型クリーンロボット(小径ウエハ用) ○3軸円筒型防水対応クリーンロボット... | 【用途】 ○半導体用ウェーハ搬送ロボット、液晶用ガラス基板搬送ロボットとして。 | |
|
---
--- |
--- | --- | |
-
- 代表製品
-
クリーンロボット『STHR4000シリーズ』
- 概要
- 【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など
4軸円筒座標型クリーンロボット MTCR4000シリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○アームバリエーション:160mm ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:...
- 用途/実績例
ジェーイーエル 製品総合カタログ
- 概要
- 【掲載内容】 ○3軸円筒座標型クリーンロボット ○4軸円筒座標型クリーンロボット ○3軸円筒座標型クリーンロボット(小径ウエハ用) ○2軸円筒座標型クリーンロボット(小径ウエハ用) ○3軸円筒座標型クリーンロボット(小径ウエハ用) ○3軸円筒型防水対応クリーンロボット...
- 用途/実績例
- 【用途】 ○半導体用ウェーハ搬送ロボット、液晶用ガラス基板搬送ロボットとして。
-
すべてを閲覧するには会員登録(無料)が必要です。
すでに会員の方はこちら
株式会社ジェーイーエル