クリーンロボット - Company Ranking(6 companies in total)
Last Updated： Aggregation Period:2026年02月18日〜2026年03月17日
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Display Company Information
| Company Name | Featured Products | ||
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| Product Image, Product Name, Price Range | overview | Application/Performance example | |
| 【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム... | 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など | ||
| 【特徴】 ○アームバリエーション:160mm ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:... | |||
ジェーイーエル 製品総合カタログ
応相談 |
【掲載内容】 ○３軸円筒座標型クリーンロボット ○４軸円筒座標型クリーンロボット ○３軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○２軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○３軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○３軸円筒型防水対応クリーンロボット... | 【用途】 ○半導体用ウェーハ搬送ロボット、液晶用ガラス基板搬送ロボットとして。 | |
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株式会社ジェーイーエル
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- Featured Products
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クリーンロボット『STHR4000シリーズ』
- overview
- 【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム...
- Application/Performance example
- 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など
4軸円筒座標型クリーンロボット MTCR4000シリーズ
- overview
- 【特徴】 ○アームバリエーション:160mm ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:...
- Application/Performance example
ジェーイーエル 製品総合カタログ
- overview
- 【掲載内容】 ○３軸円筒座標型クリーンロボット ○４軸円筒座標型クリーンロボット ○３軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○２軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○３軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○３軸円筒型防水対応クリーンロボット...
- Application/Performance example
- 【用途】 ○半導体用ウェーハ搬送ロボット、液晶用ガラス基板搬送ロボットとして。
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株式会社ジェーイーエル
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