クリーンロボット - 企業ランキング(全6社)
更新日： 集計期間:2026年02月18日〜2026年03月17日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム... | 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など | ||
| 【特徴】 ○アームバリエーション:160mm ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:... | |||
ジェーイーエル 製品総合カタログ
応相談 |
【掲載内容】 ○３軸円筒座標型クリーンロボット ○４軸円筒座標型クリーンロボット ○３軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○２軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○３軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○３軸円筒型防水対応クリーンロボット... | 【用途】 ○半導体用ウェーハ搬送ロボット、液晶用ガラス基板搬送ロボットとして。 | |
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株式会社ジェーイーエル
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- 代表製品
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クリーンロボット『STHR4000シリーズ』
- 概要
- 【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など
4軸円筒座標型クリーンロボット MTCR4000シリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○アームバリエーション:160mm ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:...
- 用途/実績例
ジェーイーエル 製品総合カタログ
- 概要
- 【掲載内容】 ○３軸円筒座標型クリーンロボット ○４軸円筒座標型クリーンロボット ○３軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○２軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○３軸円筒座標型クリーンロボット（小径ウエハ用） ○３軸円筒型防水対応クリーンロボット...
- 用途/実績例
- 【用途】 ○半導体用ウェーハ搬送ロボット、液晶用ガラス基板搬送ロボットとして。
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株式会社ジェーイーエル
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