クリーンロボット - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年08月27日〜2025年09月23日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【その他の特長】 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対... | 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など | ||
| 【特徴】 ○アームバリエーション:281mm、330mm ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィ... | |||
| 【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm、700mm ○Z軸バリエーション:400mm、500mm、600mm、760mm、900mm、1500mm ○可搬重量:第3関節にて15kgf以下(400mm、500mm) ○第3関節にて40kgf以下(700mm... | |||
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株式会社ジェーイーエル
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- 代表製品
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クリーンロボット『SHR3000シリーズ』
- 概要
- 【その他の特長】 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など
5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○アームバリエーション:281mm、330mm ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μmメッシュフィ...
- 用途/実績例
3軸円筒座標型クリーンロボット LHR3000シリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm、700mm ○Z軸バリエーション:400mm、500mm、600mm、760mm、900mm、1500mm ○可搬重量:第3関節にて15kgf以下(400mm、500mm) ○第3関節にて40kgf以下(700mm...
- 用途/実績例
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株式会社ジェーイーエル
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