クリーンロボット - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年10月08日〜2025年11月04日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、158mm、173mm、203mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合... | |||
| 【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、200mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm、400mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイ... | |||
| 【その他の特長】 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対... | 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など | ||
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株式会社ジェーイーエル
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- 代表製品
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3軸円筒座標型クリーンロボット SHR3000シリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、158mm、173mm、203mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合...
- 用途/実績例
3軸円筒座標型クリーンロボット SCR3000CSシリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、200mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm、400mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイ...
- 用途/実績例
クリーンロボット『SHR3000シリーズ』
- 概要
- 【その他の特長】 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など
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株式会社ジェーイーエル
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