クリーンロボット - 企業ランキング(全6社)
更新日： 集計期間:2026年09月30日〜2026年10月27日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【その他の特長】 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対... | 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など | ||
| 【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、158mm、173mm、203mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合... | |||
| 【特徴】 ○SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、 リンクアーム仕様、Zレス仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.2kgf以下（ワークのみ） ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使... | |||
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株式会社ジェーイーエル
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- 代表製品
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クリーンロボット『SHR3000シリーズ』
- 概要
- 【その他の特長】 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム、セラミックス等各種対...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など
3軸円筒座標型クリーンロボット SHR3000シリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、158mm、173mm、203mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合...
- 用途/実績例
3軸円筒座標型クリーンロボット SSCR3115Sシリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、 リンクアーム仕様、Zレス仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.2kgf以下（ワークのみ） ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使...
- 用途/実績例
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株式会社ジェーイーエル
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