クリーンロボット - 企業ランキング(全6社)
更新日： 集計期間:2026年07月01日〜2026年07月28日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○アームバリエーション:95mm、156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レ... | |||
| 【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、200mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm、400mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○ツインア... | |||
| 【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム... | 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など | ||
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株式会社ジェーイーエル
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- 代表製品
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4軸円筒座標型クリーンロボット STHR4000シリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○アームバリエーション:95mm、156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○装置レ...
- 用途/実績例
4軸円筒座標型クリーンロボット STCR4000Sシリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、200mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm、400mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○ツインア...
- 用途/実績例
クリーンロボット『STHR4000シリーズ』
- 概要
- 【その他の特長】 ■動作モニター装備 ■制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/O ■全軸2相ステッピングモータ使用 ■S字加減速制御によりウエハを高速、高精度に搬送 ■真空吸着、落し込み、エッジグリップチャックでウエハ保持 ■チャック材質はCFRP、アルミニウム...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送 など
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株式会社ジェーイーエル
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