スパッタ装置 - 企業ランキング(全15社)
更新日： 集計期間:2026年04月15日〜2026年05月12日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| ロードロック室１室、スパッタ室１室を基本とした２００ｍｍウェハ対応のスパッタリング装置。 基板搬送は枚葉（ＣｔｏＣ）タイプを基本とし、基板のサイズ、形状によりトレイによるＣｔｏＣ搬送。 カソードは大型１元タイプと多元タイプが選択可能。基板加熱も高温および冷却が選択可能。 ス... | ※半導体関係 ・化合物半導体研究試作量産 ・ＬＥＤ電極形成（表面・裏面・反射膜） ・ディスクリートＩＣ電極形成（表面・裏面） ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレート作成 ＭＥＭＳ・センサー関係 ・センサー膜形成（酸化膜） ・薄膜ヒーター形成 ・強誘電体膜形成 ... | ||
| 最大５元ｋソードを装備し、５元同時スパッタが可能な専用スパッタ室と重量基板の搬送に適したロードロック機構で金型コーティングに対応。 ６５０℃の加熱とガス冷却機構を併用する特殊基板台を装備。 高温加熱による膜の密着力の確保と処理の高速化を実現。 幅広い材質・形状に最適な膜種・... | 精密レンズ金型コーティング | ||
大気非暴露型多元スパッタ装置
応相談 |
3インチカソード3元を装備した標準型スパッタ装置をカスタマイズ。 専用ターゲットとグローブボックスを標準装備。 Ｌｉ系複合酸化物 硫化物等ターゲットも供給。有償にて成膜テストに対応 実績豊富な研究開発用スパッタ装置の基本仕様を踏襲、小径ターゲットを使用し大面積（φ１８０）へ... | 薄膜固体二次電池研究開発 化合物半導体研究開発 感光体・光デバイス研究開発 低融点材料成膜 | |
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神港精機株式会社 東京支店
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- 代表製品
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ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中
- 概要
- ロードロック室１室、スパッタ室１室を基本とした２００ｍｍウェハ対応のスパッタリング装置。 基板搬送は枚葉（ＣｔｏＣ）タイプを基本とし、基板のサイズ、形状によりトレイによるＣｔｏＣ搬送。 カソードは大型１元タイプと多元タイプが選択可能。基板加熱も高温および冷却が選択可能。 ス...
- 用途/実績例
- ※半導体関係 ・化合物半導体研究試作量産 ・ＬＥＤ電極形成（表面・裏面・反射膜） ・ディスクリートＩＣ電極形成（表面・裏面） ＵＶ－ＬＥＤ用ＡｌＮテンプレート作成 ＭＥＭＳ・センサー関係 ・センサー膜形成（酸化膜） ・薄膜ヒーター形成 ・強誘電体膜形成 ...
硬質膜用スパッタリング装置ＳＴＬ５５２１型（精密レンズ金型用）
- 概要
- 最大５元ｋソードを装備し、５元同時スパッタが可能な専用スパッタ室と重量基板の搬送に適したロードロック機構で金型コーティングに対応。 ６５０℃の加熱とガス冷却機構を併用する特殊基板台を装備。 高温加熱による膜の密着力の確保と処理の高速化を実現。 幅広い材質・形状に最適な膜種・...
- 用途/実績例
- 精密レンズ金型コーティング
大気非暴露型多元スパッタ装置
- 概要
- 3インチカソード3元を装備した標準型スパッタ装置をカスタマイズ。 専用ターゲットとグローブボックスを標準装備。 Ｌｉ系複合酸化物 硫化物等ターゲットも供給。有償にて成膜テストに対応 実績豊富な研究開発用スパッタ装置の基本仕様を踏襲、小径ターゲットを使用し大面積（φ１８０）へ...
- 用途/実績例
- 薄膜固体二次電池研究開発 化合物半導体研究開発 感光体・光デバイス研究開発 低融点材料成膜
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神港精機株式会社 東京支店
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