スパッタ装置 - 企業ランキング(全15社)
更新日： 集計期間:2025年10月15日〜2025年11月11日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| ◉ 酸化膜・絶縁膜・導電性膜・化合物、反応性膜も可能な高機能多目的スパッタリング装置 ◉ 装置運転・レシピ管理などの全てを7"タッチパネルで一元管理。 ◉ オペレータが登録したフィルムレシピ、プロセス制御（真空引/ベント、成膜レート、カソード切替、シャッター開閉、加熱・昇降回転調... | 各種電子デバイス薄膜実験 金属薄膜、絶縁膜、化合物薄膜、他多数アプリケーションに対応 | ||
| MiniLab-026は、シリーズ最小の26L容積チャンバを使用した小型薄膜実験装置です。 【スモールフットプリント・省スペース】 ・シングルラックタイプ（MiniLab-026）：590(W) x 590(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Window... | ・電子部品 ・光学膜 ・反射防止膜 ・有機トランジスタ、有機EL | ||
| 【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】 ◉ 製作範囲 抵抗加熱蒸着（TE）、有機膜蒸着（LTE）、電子ビーム蒸着（EB）、RF/DCスパッタリング（SP）、T-CVD/PE-CVD、プラズマエッチング（RIE） ◉ チャンバー ・026（26Litt... | 主な用途 ・新素材/新材料の開発 ・先端技術開発 ・小規模試作生産 など | ||
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テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
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- 代表製品
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スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』
- 概要
- ◉ 酸化膜・絶縁膜・導電性膜・化合物、反応性膜も可能な高機能多目的スパッタリング装置 ◉ 装置運転・レシピ管理などの全てを7"タッチパネルで一元管理。 ◉ オペレータが登録したフィルムレシピ、プロセス制御（真空引/ベント、成膜レート、カソード切替、シャッター開閉、加熱・昇降回転調...
- 用途/実績例
- 各種電子デバイス薄膜実験 金属薄膜、絶縁膜、化合物薄膜、他多数アプリケーションに対応
スパッタリング装置『MiniLab-026』
- 概要
- MiniLab-026は、シリーズ最小の26L容積チャンバを使用した小型薄膜実験装置です。 【スモールフットプリント・省スペース】 ・シングルラックタイプ（MiniLab-026）：590(W) x 590(D)mm 【優れた操作性・直観的操作画面】 Window...
- 用途/実績例
- ・電子部品 ・光学膜 ・反射防止膜 ・有機トランジスタ、有機EL
スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』
- 概要
- 【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】 ◉ 製作範囲 抵抗加熱蒸着（TE）、有機膜蒸着（LTE）、電子ビーム蒸着（EB）、RF/DCスパッタリング（SP）、T-CVD/PE-CVD、プラズマエッチング（RIE） ◉ チャンバー ・026（26Litt...
- 用途/実績例
- 主な用途 ・新素材/新材料の開発 ・先端技術開発 ・小規模試作生産 など
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テルモセラ・ジャパン株式会社 本社
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