スピンコータ - 企業ランキング(全18社)
更新日： 集計期間:2026年07月22日〜2026年08月18日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式 ○条件設定は操作パネルのタッチパネルで実行 ○各処理モード中はタッチパネル上に各モード表示 【仕様】 ○外形寸法：W420×D500×H335 ○モーター：600WACサーボモーター 200V （10... | |||
| 【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています ○即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で実行 【仕様】 ○対象ワーク：7"□、φ8"等 ○外形寸法(m... | |||
| 【特徴】 ○カセットtoカセットの自動スピンコーター ○レジストをコートし、次にベーク工程も自動で実行 ○処理工程はU字型に配置 ○ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が可能 ○工程間の搬送は多間接ロボットを採用 ○対象ワーク：2"□～5"□基板又は... | |||
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ジャパンクリエイト株式会社
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- 代表製品
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スピン洗浄装置 卓上型マニュアルスピンコーター
- 概要
- 【特徴】 ○300mm□ガラス基板対応 ○卓上型マニュアル式 ○条件設定は操作パネルのタッチパネルで実行 ○各処理モード中はタッチパネル上に各モード表示 【仕様】 ○外形寸法：W420×D500×H335 ○モーター：600WACサーボモーター 200V （10...
- 用途/実績例
スピン洗浄装置 高性能型減圧式スピンコーター
- 概要
- 【特徴】 ○各種基板にレジスト液を自動でスピンコート ○チャンバー内の雰囲気をコントロール →均一な高精度のコートができる様、技術が盛り込まれています ○即ちN2置換、溶剤ガス導入、真空状態、等自動で実行 【仕様】 ○対象ワーク：7"□、φ8"等 ○外形寸法(m...
- 用途/実績例
スピン洗浄装置 自動レジストスピンコーター
- 概要
- 【特徴】 ○カセットtoカセットの自動スピンコーター ○レジストをコートし、次にベーク工程も自動で実行 ○処理工程はU字型に配置 ○ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が可能 ○工程間の搬送は多間接ロボットを採用 ○対象ワーク：2"□～5"□基板又は...
- 用途/実績例
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ジャパンクリエイト株式会社
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