ネトロンスパッタ装置 - 企業ランキング(全7社)
更新日： 集計期間:2025年03月26日〜2025年04月22日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
|---|---|---|---|
| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
超小型マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－ｍｉｎｉ
50万円 ~ 100万円 |
【特徴】 ○試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです ○操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません ○全ての贅肉を排除して、低価格・高性能を実現 | 【用途】 ○SEM試料などのためのメタルコーティング | |
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴ
50万円 ~ 100万円 |
【主な特徴】 ○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。 ○マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。 ○４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。 ○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。 ○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。 ○膜純度の向上に活躍。 ○マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。 | 【用途】 ○電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置 | |
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＴＫ
50万円 ~ 100万円 |
【主な特徴】 ○電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。 ○超高分解能ＳＥＭにおいて超高倍率の観察に活躍します。（２０万倍以上） ○試料傾斜・回転機構（オプション）を使用することにより回り込み性能の向上も可能。 ○Mo/Cr/Ni/Cuなどの金属板（オプション）をコーティングすることが可能です。 ○電圧・電流容量の変更（オプション）により、殆どの金属コーティングを可能にします。 ○空冷式マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にし、ターゲットの温度上昇を防ぎます。 ○雰囲気ガスはアルゴンガスを使用。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○ターゲットは空冷式マグネトロン方式で、貴金属以外の金属コーティングを可能にし、イオンダメージ、熱ダメージを最小限に抑えています。 | 【用途】 ○電子顕微鏡の試料にタングステンコートを施す装置 | |
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株式会社真空デバイス 本社
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- 代表製品
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超小型マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－ｍｉｎｉ
- 概要
- 【特徴】 ○試料に優しいマグネトロン方式イオンコータです ○操作は簡単、ボタンを押すだけ、上手下手がありません ○全ての贅肉を排除して、低価格・高性能を実現
- 用途/実績例
- 【用途】 ○SEM試料などのためのメタルコーティング
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＭＴ
- 概要
- 【主な特徴】 ○電子顕微鏡試料に導電処理を施す為のコーティング装置です。 ○マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にします。 ○４インチサイズのターゲット仕様。大きな試料・多数の試料を処理可能です。 ○様々な用途に対応することを可能にする調整機能を装備。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○雰囲気ガス導入付きで、２系統の排気システムを切換えて最適条件に。 ○アルゴンガス接続で、より高純度な貴金属膜をコーティング可能。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○アルゴンガス等の導入・圧力調整機能を装備しています。 ○膜純度の向上に活躍。 ○マニュアル・調整操作は右から左へ順にスイッチを押していくだけの使いやすいレイアウト。
- 用途/実績例
- 【用途】 ○電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す装置
マグネトロンスパッタ装置ＭＳＰ－２０ＴＫ
- 概要
- 【主な特徴】 ○電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置です。 ○超高分解能ＳＥＭにおいて超高倍率の観察に活躍します。（２０万倍以上） ○試料傾斜・回転機構（オプション）を使用することにより回り込み性能の向上も可能。 ○Mo/Cr/Ni/Cuなどの金属板（オプション）をコーティングすることが可能です。 ○電圧・電流容量の変更（オプション）により、殆どの金属コーティングを可能にします。 ○空冷式マグネトロンターゲット採用で、試料ダメージを最小限にし、ターゲットの温度上昇を防ぎます。 ○雰囲気ガスはアルゴンガスを使用。 ○条件出しの際の操作をより簡単にしたボタンレイアウト。 ○条件出し完了後はボタンひとつでフルオート動作。 ○インターロック・安全機構が充実した電子顕微鏡向けスパッター装置。 【その他の特徴】 ○ターゲットは空冷式マグネトロン方式で、貴金属以外の金属コーティングを可能にし、イオンダメージ、熱ダメージを最小限に抑えています。
- 用途/実績例
- 【用途】 ○電子顕微鏡の試料にタングステンコートを施す装置
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株式会社真空デバイス 本社
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