プラズマCVD装置 - 企業ランキング(全10社)
更新日: 集計期間:2026年02月18日〜2026年03月17日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送 | 【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成 | ||
| 【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送 | 【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成 | ||
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- 代表製品
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【資料】ノンボッシュプロセスを用いたシリコン加工データ
- 概要
- 用途/実績例
プラズマCVD装置『PD-270STLC/PD-2201LC』
- 概要
- 【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送
- 用途/実績例
- 【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成
プラズマCVD装置『PD-270STLC/PD-2201LC』
- 概要
- 【特長】 <PD-2201LC> ■広範な膜質制御 ■コンパクトな省スペース装置 ■トレイによるウエハ搬送
- 用途/実績例
- 【応用例】 <PD-2201LC> ■各種シリコン系薄膜の形成
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サムコ株式会社