プラズマCVD装置 - 企業ランキング(全10社)
更新日: 集計期間:2025年12月31日〜2026年01月27日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【仕様(抜粋)】 ■チャンバー材質:ステンレス製 ■到達真空度:1Pa以下 ■真空ポンプ:ロータリーポンプ+メカニカルブースターポンプ ■排気圧力コントロール:手動(オプションで自動可) ■成膜対象物:最大Φ100mm×500mm ■高周波出力:最大1kW | |||
| 【製品仕様(抜粋)】 ■真空ポンプ:ロータリーポンプ+メカニカルブースターポンプ ■排気圧コントロール:手動(オプションで自動可) ■成膜対象物:最大φ100mm×500mm ■高周波出力:最大1kW ■整合方式:自動整合方式 ■ランプ加熱:最高設定温度500℃ | |||
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- 代表製品
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立体物対応実験用プラズマCVD装置(DLC、アモルファスSiC)
- 概要
- 【仕様(抜粋)】 ■チャンバー材質:ステンレス製 ■到達真空度:1Pa以下 ■真空ポンプ:ロータリーポンプ+メカニカルブースターポンプ ■排気圧力コントロール:手動(オプションで自動可) ■成膜対象物:最大Φ100mm×500mm ■高周波出力:最大1kW
- 用途/実績例
【製造実績】立体物対応実験用プラズマCVD装置
- 概要
- 【製品仕様(抜粋)】 ■真空ポンプ:ロータリーポンプ+メカニカルブースターポンプ ■排気圧コントロール:手動(オプションで自動可) ■成膜対象物:最大φ100mm×500mm ■高周波出力:最大1kW ■整合方式:自動整合方式 ■ランプ加熱:最高設定温度500℃
- 用途/実績例
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株式会社DINOVAC