プラズマCVD装置 - 企業ランキング(全10社)
更新日： 集計期間:2026年04月08日〜2026年05月05日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【仕様】 ■サイズ：W4000mm×D2000mm×2000mm ■プラズマソース：ICP、RFバイアス ■ガス種：SiH4、O2、N2、HMDSO、NF3 ■ウエハサイズ：～φ12インチ（FOUP対応） ■成膜速度：～300nm/min | |||
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株式会社セルバック
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- 代表製品
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プラズマCVD装置『PEGASUS』
- 概要
- 【仕様】 ■サイズ：W4000mm×D2000mm×2000mm ■プラズマソース：ICP、RFバイアス ■ガス種：SiH4、O2、N2、HMDSO、NF3 ■ウエハサイズ：～φ12インチ（FOUP対応） ■成膜速度：～300nm/min
- 用途/実績例
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株式会社セルバック
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