プラズマエッチング装置 - 企業ランキング(全6社)
更新日： 集計期間:2025年11月19日〜2025年12月16日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【仕様】 ■ハード構成：ロードロック式 ロードロック室 エッチング室各1室構成 ※量産用 マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板：～φ8インチウェハ形状品（矩形基板対応可能） ■対応基板：Si、石英、セラミックス（アルミナ、AlTiC等）ガラス、 ... | 【用途】 ■Si深掘り ■石英の垂直加工 ■犠牲層の形成 ■酸窒化膜 ■有機膜のエッチング など | ||
| シンプルな構造の高密度プラズマエッチング装置。大口径化が容易で２００ｍｍ以上のウェハやＡ４サイズの矩形基板の処理に適しています。 基板サイズは１ｍ□程度を想定しており、中小型ディスプレイパネル、大型フォトマスクのエッチング、アッシングおよび高密度プリント基板のクリーニング、ディ... | ２００ｍｍ以上のウェハのエッチング Ｓｉ Ｓｉ窒化膜・酸化膜 金属膜 有機膜 フォトレジスト除去 フォトマスクエッチング 大型高密度プリント基板ディスカム・クリーニング・親水化処理 | ||
| 基本構成を従来型エッチング装置「SERIO」「EXAM」と互換性を持つ高密度プラズマエッチング装置。 チャンバ構造・排気系・電源構成等は従来型エッチング装置「SERIO」とも互換性を持っており、電極交換によりＣｕエッチング等新プロセス対応にアップグレード可能。 大型基板用にＣ... | Ｃｕ薄膜エッチング 薄膜磁気ヘッドＣｕエッチング フォトマスクエッチング 高密度実装基板Ｃｕエッチング | ||
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神港精機株式会社 東京支店
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- 代表製品
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ICPプラズマエッチング装置『SERIO』
- 概要
- 【仕様】 ■ハード構成：ロードロック式 ロードロック室 エッチング室各1室構成 ※量産用 マルチチャンバタイプもラインアップ ■処理基板：～φ8インチウェハ形状品（矩形基板対応可能） ■対応基板：Si、石英、セラミックス（アルミナ、AlTiC等）ガラス、 ...
- 用途/実績例
- 【用途】 ■Si深掘り ■石英の垂直加工 ■犠牲層の形成 ■酸窒化膜 ■有機膜のエッチング など
HCD型高密度プラズマエッチング装置
- 概要
- シンプルな構造の高密度プラズマエッチング装置。大口径化が容易で２００ｍｍ以上のウェハやＡ４サイズの矩形基板の処理に適しています。 基板サイズは１ｍ□程度を想定しており、中小型ディスプレイパネル、大型フォトマスクのエッチング、アッシングおよび高密度プリント基板のクリーニング、ディ...
- 用途/実績例
- ２００ｍｍ以上のウェハのエッチング Ｓｉ Ｓｉ窒化膜・酸化膜 金属膜 有機膜 フォトレジスト除去 フォトマスクエッチング 大型高密度プリント基板ディスカム・クリーニング・親水化処理
Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置
- 概要
- 基本構成を従来型エッチング装置「SERIO」「EXAM」と互換性を持つ高密度プラズマエッチング装置。 チャンバ構造・排気系・電源構成等は従来型エッチング装置「SERIO」とも互換性を持っており、電極交換によりＣｕエッチング等新プロセス対応にアップグレード可能。 大型基板用にＣ...
- 用途/実績例
- Ｃｕ薄膜エッチング 薄膜磁気ヘッドＣｕエッチング フォトマスクエッチング 高密度実装基板Ｃｕエッチング
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神港精機株式会社 東京支店
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