マスクアライナ - 企業ランキング(全6社)
更新日: 集計期間:2026年07月22日〜2026年08月18日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【主な仕様】 ■マスクサイズ:□3"~□7" ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6", 角基板 □2"~4" ■カセットステージ:2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き:1組 ■露光光源:i線LED光源(500W相当) ■オートアライメント機能搭載(F... | |||
| 【主な仕様】 ■マスクサイズ:□3"~□7" ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6" ■装置サイズ:1200×1200×1900(本体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(Class1対応) | |||
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- 代表製品
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UV-LED光源!半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー
- 概要
- 【主な仕様】 ■マスクサイズ:□3"~□7" ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6", 角基板 □2"~4" ■カセットステージ:2組 ■センタリングユニット オリフラ自動位置合わせ機能付き:1組 ■露光光源:i線LED光源(500W相当) ■オートアライメント機能搭載(F...
- 用途/実績例
裏面アライメントなし!片面オートマスクアライナー AMA6000
- 概要
- 【主な仕様】 ■マスクサイズ:□3"~□7" ■ウエハサイズ:Φ2"~Φ6" ■装置サイズ:1200×1200×1900(本体) ■搬送方法:ダブルアームクリーンロボット(Class1対応)
- 用途/実績例
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