マスクアライナ - 企業ランキング(全6社)
更新日： 集計期間:2026年09月09日〜2026年10月06日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○4/6/8インチ標準マスクアライナー ○コンパクトな微細露光のスタンダード機 ○微細度の高いパターン露光ができる露光装置 →半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野に ○専用にデザインされた双対物2視野CCD顕微鏡を搭載 ○対物レンズ間... | |||
| 【特徴】 ○裏面観察専用にデザインされた双対物2視野CCD顕微鏡を搭載 ○対物レンズ間隔最小16mmで小型試料のアライメントまで可能 ○裏面アライメントに最適化されたフリーズワイプ処理装置を装備 （画像メモリ） ○試料アクセスに便利なフロントスライド式高精度アライメン... | |||
| 【特徴】 ○デザインルール3μm ○ランプハウス2基搭載でウェハ表裏同時露光（一次露光のみ） ○最大φ4インチウェハ対応 ○左右対物レンズ間隔最小8mmで小型試料に対応（オプション） ○上下マスクのアライメント時には下方からの透過式照明が利用可能 ○コンパクト設計 ... | |||
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株式会社ナノテック
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- 代表製品
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高性能マスクアライナー LAシリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○4/6/8インチ標準マスクアライナー ○コンパクトな微細露光のスタンダード機 ○微細度の高いパターン露光ができる露光装置 →半導体素子デバイス等フォトリソグラフィーを必要とする研究分野に ○専用にデザインされた双対物2視野CCD顕微鏡を搭載 ○対物レンズ間...
- 用途/実績例
試料裏面マスクアライメント露光装置 BAシリーズ
- 概要
- 【特徴】 ○裏面観察専用にデザインされた双対物2視野CCD顕微鏡を搭載 ○対物レンズ間隔最小16mmで小型試料のアライメントまで可能 ○裏面アライメントに最適化されたフリーズワイプ処理装置を装備 （画像メモリ） ○試料アクセスに便利なフロントスライド式高精度アライメン...
- 用途/実績例
両面同時露光マスクアライナー BS320
- 概要
- 【特徴】 ○デザインルール3μm ○ランプハウス2基搭載でウェハ表裏同時露光（一次露光のみ） ○最大φ4インチウェハ対応 ○左右対物レンズ間隔最小8mmで小型試料に対応（オプション） ○上下マスクのアライメント時には下方からの透過式照明が利用可能 ○コンパクト設計 ...
- 用途/実績例
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株式会社ナノテック
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