分子ポンプ - 企業ランキング(全8社)
更新日： 集計期間:2026年02月18日〜2026年03月17日
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企業情報を表示
| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧... | 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置 | ||
| 分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。 | 小型・軽量・高性能が必要とされる分析装置・計測システムへの搭載に対応します。 ■分析装置 質量分析装置 リークディテクタ 電子顕微鏡 ■小型分析装置 各種小型実験装置の排気 | ||
| 【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE） | |||
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株式会社大阪真空機器製作所
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- 代表製品
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コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ
- 概要
- 【特徴】 ○バランスの良い排気性能で、幅広いプロセスに適応 ○広い真空領域で大流量排気が可能 ○優れた到達圧力、高圧縮比 ○補助ポンプと同時起動で、排気時間を短縮ができる ○ロータ回転数を任意に設定可能（110～450rps） ○プロセスに応じて排気能力を調整でき、圧...
- 用途/実績例
- 【用途】 ○太陽電池製造装置 ○ガラス／レンズ加工 ○フィルム加工 ○ LCD製造装置 ○半導体製造装置 ○加速器／宇宙環境試験装置
分析・計測装置向けターボ分子ポンプ TG70F/240F
- 概要
- 分析機器向けの小型ターボ分子ポンプです。補助ポンプに小型ダイアフラムポンプが使用できるため、装置を小型化でき、また完全姿勢自在であるため装置レイアウトの自由度も広がります。小型・軽量・高性能が必要とされる分析・計測装置に適したポンプです。
- 用途/実績例
- 小型・軽量・高性能が必要とされる分析装置・計測システムへの搭載に対応します。 ■分析装置 質量分析装置 リークディテクタ 電子顕微鏡 ■小型分析装置 各種小型実験装置の排気
グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ：TG350F
- 概要
- 【製品の特長】 ○取付姿勢自在 ○省エネルギー ○急速ペント停止が可能 ○大気突入に強い構造 ○シリアル通信可能 ○安全規格適合（NRTL/SEMI-S2/CE）
- 用途/実績例
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株式会社大阪真空機器製作所
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