小型スパッタ装置 - 企業ランキング(全5社)
更新日： 集計期間:2025年10月15日〜2025年11月11日
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| 会社名 | 代表製品 | ||
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| 製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
| 【仕様】 ■到達真空度：1×10^-4 Pa以下 ■リーク量：1×10^-8 Pa・m3/sec以下（Oリング透過分を除く） ■排気系：TMP+ダイヤフラムポンプ（またはロータリーポンプ） ■真空計 フルレンジ真空計（コールドカソード+ピラニーゲージ） +キャパシ... | |||
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アリオス株式会社
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- 代表製品
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小型スパッタ装置『SS-DC・RF301』
- 概要
- 【仕様】 ■到達真空度：1×10^-4 Pa以下 ■リーク量：1×10^-8 Pa・m3/sec以下（Oリング透過分を除く） ■排気系：TMP+ダイヤフラムポンプ（またはロータリーポンプ） ■真空計 フルレンジ真空計（コールドカソード+ピラニーゲージ） +キャパシ...
- 用途/実績例
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アリオス株式会社
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