小型スパッタ装置 - 企業ランキング(全5社)

更新日：2025年09月24日集計期間:2025年08月27日〜2025年09月23日
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会社名	企業情報	代表製品
会社名	企業情報	製品画像・製品名・価格帯	概要	用途/実績例
株式会社富士アールアンドディー	所在地静岡県従業員数 22 事業内容 ▼真空装置・パーツ・チャンバー制作・排気装置・蒸着装置・スパッタリング装置等・真空熱処理炉・含浸装置・脱ガス装置等・制御盤、電気、制御系の製作、改造 ▼ラップ盤・ポリッシュ盤の改造、オーバーホール・特殊仕様機制作・両面機、片面機オーバーホール・改... 主要取引先株式会社アルバック佐藤真空株式会社三美テックス株式会社スピードファム株式会社ソニー株式会社株式会社タイセイ東京大学日本大学宇都宮大学東邦ゴム株式...	実験用小型スパッタリング装置応相談	メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。スパッタリングを行う成膜室と、成膜後に取り出す部屋をゲートバルブで仕切っています。基盤をセット後、真空中で自動搬送します。ターゲットは３種まで取付可能です。基板は自動回転機構で、設定した順にターゲットの下に移動し、成膜します...	・金・白金・チタンの成膜
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