抵抗測定器 - 企業ランキング(全43社)
更新日: 集計期間:2025年08月20日〜2025年09月16日
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企業情報を表示
会社名 | 代表製品 | ||
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製品画像・製品名・価格帯 | 概要 | 用途/実績例 | |
【ラインアップ】 ■RT-70V/RG-7C ■RT-70V/RG-5 ■RT-70V/RG-7S ■RT-70V/TS-7D | |||
【ガラスカセットエレベーターとガラス搬送機構を搭載した全自動システム】 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能 ◆ガラスマップ(サーチ)機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ●対象ガラス基板サイズ:MAX 1,500mm×1,850mm (2,100mm×2,400mm程度まで対応可能) | TFT、EL(OLED)、CFなどのITO膜、各種メタル膜、n+a-Si膜など | ||
【半導体プロセス評価用に最適な自動薄膜シート抵抗測定器】 ◆4種類のプローブヘッドを装着可能なロータリー機能のため、測定サンプル毎のプローブ交換作業が不要 ◆デュアルモードにより、エッジ1mmまで高精度に測定 ◆高速測定による優れたコストメリット ◆薄膜3nmの測定実績 ◆FOUP標準装備(オプション:SMIF/AM3000)、GEM/SECS対応 | 半導体プロセス膜(エピタキシャル、拡散、イオン注入、ポリシリコン)、メタル膜、シリコンウエハ | ||
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- 代表製品
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接触式 抵抗測定器『RT-70Vシリーズ』
- 概要
- 【ラインアップ】 ■RT-70V/RG-7C ■RT-70V/RG-5 ■RT-70V/RG-7S ■RT-70V/TS-7D
- 用途/実績例
抵抗率/シート抵抗測定器【RT-3000/RG-1000F】
- 概要
- 【ガラスカセットエレベーターとガラス搬送機構を搭載した全自動システム】 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能 ◆ガラスマップ(サーチ)機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ●対象ガラス基板サイズ:MAX 1,500mm×1,850mm (2,100mm×2,400mm程度まで対応可能)
- 用途/実績例
- TFT、EL(OLED)、CFなどのITO膜、各種メタル膜、n+a-Si膜など
抵抗率/シート抵抗測定器【WS-3000】
- 概要
- 【半導体プロセス評価用に最適な自動薄膜シート抵抗測定器】 ◆4種類のプローブヘッドを装着可能なロータリー機能のため、測定サンプル毎のプローブ交換作業が不要 ◆デュアルモードにより、エッジ1mmまで高精度に測定 ◆高速測定による優れたコストメリット ◆薄膜3nmの測定実績 ◆FOUP標準装備(オプション:SMIF/AM3000)、GEM/SECS対応
- 用途/実績例
- 半導体プロセス膜(エピタキシャル、拡散、イオン注入、ポリシリコン)、メタル膜、シリコンウエハ
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